Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Postup přípravy vzorků. Rozdíl v experimentu ve vakuu a na vzduchu? Volba okrajových podmínek při simulacích. Studentka na otázky odpověděla.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorNováček, Zdeněkcs
dc.contributor.authorBoleloucká, Eliškacs
dc.contributor.refereeUkropcová, Ivetacs
dc.date.created2024cs
dc.description.abstractTato práce je zaměřena na modifikaci povrchu vzorku pomocí intenzivního laserového světla, což je jedna z požadovaných vlastností vyvíjené multifunkční sondy SPM nové generace. Nejprve je představena samotná sonda SPM umožňující korelativní měření. Dále je rozebrána problematika zavedení intenzivního laserového světla do komory elektronového mikroskopu společně s provedenou úpravou v detekční větvi mikroskopu. Pro simulaci interakce laserového světla s povrchem vzorku je použito programového prostředí COMSOL Multiphysics. Následně jsou výsledky simulací teplotního pole ve vzorku srovnány s výsledky přímého ovlivňování povrchu vzorku v komoře elektronového mikroskopu.cs
dc.description.abstractThis work focuses on the modification of the sample surface using intense laser light. This is one of the desired features of the new generation of multifunctional SPM probes, which are under development. In the first chapter is introduced the SPM probe itself, which allows correlative measurements. Following section contains the implementation of the intense laser light into the electron microscope chamber, together with the modification made to the detection branch of the microscope. The COMSOL Multiphysics software environment is used to simulate the interaction of the laser light with the sample surface. The results of the simulations of the temperature field in the sample are then compared with the results of the direct interaction of the sample surface with the laser light in the electron microscope chamber.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationBOLELOUCKÁ, E. Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.cs
dc.identifier.other158126cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/247690
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectSEMcs
dc.subjectSPMcs
dc.subjectCOMSOL Multiphysicscs
dc.subjectmikromanipulátor s optickým vláknemcs
dc.subjectodpařování tenkých vrstevcs
dc.subjectmodifikace laseremcs
dc.subjectSEMen
dc.subjectSPMen
dc.subjectCOMSOL Multiphysicsen
dc.subjectfiber optic micromanipulatoren
dc.subjectevaporation of thin filmsen
dc.subjectmodification via laseren
dc.titleOdpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopemcs
dc.title.alternativeEvaporation of thin films using intense laser light observed operando in a scanning electron microscopeen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2024-06-12cs
dcterms.modified2024-06-18-08:45:11cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid158126en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 12:44:15en
sync.item.modts2025.01.16 00:27:11en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
10.83 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_158126.html
Size:
11.57 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_158126.html
Collections