Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem
Loading...
Date
Authors
Boleloucká, Eliška
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato práce je zaměřena na modifikaci povrchu vzorku pomocí intenzivního laserového světla, což je jedna z požadovaných vlastností vyvíjené multifunkční sondy SPM nové generace. Nejprve je představena samotná sonda SPM umožňující korelativní měření. Dále je rozebrána problematika zavedení intenzivního laserového světla do komory elektronového mikroskopu společně s provedenou úpravou v detekční větvi mikroskopu. Pro simulaci interakce laserového světla s povrchem vzorku je použito programového prostředí COMSOL Multiphysics. Následně jsou výsledky simulací teplotního pole ve vzorku srovnány s výsledky přímého ovlivňování povrchu vzorku v komoře elektronového mikroskopu.
This work focuses on the modification of the sample surface using intense laser light. This is one of the desired features of the new generation of multifunctional SPM probes, which are under development. In the first chapter is introduced the SPM probe itself, which allows correlative measurements. Following section contains the implementation of the intense laser light into the electron microscope chamber, together with the modification made to the detection branch of the microscope. The COMSOL Multiphysics software environment is used to simulate the interaction of the laser light with the sample surface. The results of the simulations of the temperature field in the sample are then compared with the results of the direct interaction of the sample surface with the laser light in the electron microscope chamber.
This work focuses on the modification of the sample surface using intense laser light. This is one of the desired features of the new generation of multifunctional SPM probes, which are under development. In the first chapter is introduced the SPM probe itself, which allows correlative measurements. Following section contains the implementation of the intense laser light into the electron microscope chamber, together with the modification made to the detection branch of the microscope. The COMSOL Multiphysics software environment is used to simulate the interaction of the laser light with the sample surface. The results of the simulations of the temperature field in the sample are then compared with the results of the direct interaction of the sample surface with the laser light in the electron microscope chamber.
Description
Citation
BOLELOUCKÁ, E. Odpařování tenkých vrstev pomocí intenzivního laserového světla za současného pozorování elektronovým rastrovacím mikroskopem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen)
doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2024-06-12
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno:
Postup přípravy vzorků.
Rozdíl v experimentu ve vakuu a na vzduchu?
Volba okrajových podmínek při simulacích.
Studentka na otázky odpověděla.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení