Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku
| but.committee | prof. Ing. Miloslav Pekař, CSc. (předseda) prof. Ing. Michal Veselý, CSc. (místopředseda) prof. Ing. Michal Čeppan, Ph.D. (člen) prof. Karel Friess (člen) doc. Ing. Zdenka Kozáková, Ph.D. (člen) prof. Ing. Marián Lehocký, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Obhajoba diplomové práce proběhla podle následujícího schématu: prezentace studenta-vyjádření vedoucí/ho-oponentský posudek-reakce na posudek-diskuse s komisí. Student přednesl výborný výtah výsledků své práce, řádně zodpověděl všechny dotazy oponentské i členů komise, pohotově reagoval na připomínky. V diskusi tak student prokázal výbornou schopnost orientace v teoretických i praktických základech problematiky práce. Komise zhodnotila jeho práci celkově jako výbornou. Pekař: Jak se nastavoval tlak vody v mikroskopu? Veselý: Existují jiné prekurzory pro tvorbu depoziční vrstvy? Friess: Jakou analytickou metodou se stanovoval obsah vody a uhlíku? Kozáková: Jaké ionty se používají pro depozice? | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Spotřební chemie | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Pospíšil, Jan | cs |
| dc.contributor.author | Juřík, Karel | cs |
| dc.contributor.referee | Zmeškal, Oldřich | cs |
| dc.date.created | 2020 | cs |
| dc.description.abstract | V rámci této práce byla provedena série depozic pomocí fokusovaného elektronového svazku z trimethyl(methylcyklopentadienyl)platičitého komplexu v prostředí vodních par. Byla sledována závislost čistoty připravených materiálů na urychlovacím napětí svazku a tlaku vodních par. Bylo dosaženo maximálního obsahu platiny (27,2 ± 0,4) at. % (při urychlovacím napětí 5 kV, proudu svazku 1600 pA a tlaku vodních par 100 Pa). Po následném dlouhodobém vystavení atmosférickým vlivům (světlu, vzdušné vlhkosti a kyslíku) tato hodnota vzrostla až na konečných (39,2 ± 2,1) at. %. | cs |
| dc.description.abstract | Within this work, a set of depositions induced by focused electron beam was prepared. The depositions were prepared in the presence of water vapours from trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV) precursor. The dependence of prepared materials purity on beam accelerating voltage and water vapour pressure was measured. The best platinum content was achieved at (27,2 ± 0,4) at. %, with beam accelerating voltage 5 kV, beam current 1600 pA and water vapour pressure 100 Pa. Due to subsequent long-term exposure to light, air humidity and air oxygen, the platinum content was increased to (39,2 ± 2,1) at. %. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | JUŘÍK, K. Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. 2020. | cs |
| dc.identifier.other | 124001 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/190952 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | FEBID | cs |
| dc.subject | GIS | cs |
| dc.subject | depozice indukovaná fokusovaným elektronovým svazkem | cs |
| dc.subject | purifikace | cs |
| dc.subject | trimethyl(methylcyklopentadienyl)platičitý komplex | cs |
| dc.subject | FEBID | en |
| dc.subject | GIS | en |
| dc.subject | focused electron beam induced deposition | en |
| dc.subject | purification | en |
| dc.subject | trimethyl(methylcyclopentadienyl)platinum(IV) | en |
| dc.title | Depozice pomocí fokusovaného elektronového svazku | cs |
| dc.title.alternative | Focused eletron beam induced deposition | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2020-06-25 | cs |
| dcterms.modified | 2020-06-26-13:25:47 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta chemická | cs |
| sync.item.dbid | 124001 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 09:54:40 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 19:12:56 | en |
| thesis.discipline | Spotřební chemie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta chemická. Ústav fyzikální a spotřební chemie | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |