Topná MEMS platforma pro chemické senzory
| but.committee | prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc. (předseda) doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (člen) Ing. Marek Bohrn, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jan Pekárek, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise: Proč je vhodnější použít zavěsnou membránu před uzavřenou? Co mohou být hlavní přičiny stresu v oxidových vrstvách? Mohl byste více vysvětlit popis anizotropního leptání ve své práci? | cs |
| but.jazyk | slovenština (Slovak) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Prášek, Jan | sk |
| dc.contributor.author | Vančík, Silvester | sk |
| dc.contributor.referee | Svatoš, Vojtěch | sk |
| dc.date.created | 2018 | cs |
| dc.description.abstract | Táto diplomová práca sa zaoberá oblasťou návrhu a výroby mikroelektromechanickej vyhrievacej platformy pre chemické senzory plynov. V teoretickej časti sú popísané MEMS, senzory a výrobné procesy a technológie potrebné pre výrobu takejto platformy. Praktická časť obsahuje simulácie, návrh masiek kompletnú výrobu od masiek až po samotnú platformu na čipe. V práci sa tiež nachádzajú výsledky charakterizácie vyrobenej vyhrievacej platformy v porovnaním so simuláciami. Výsledky sú taktiež porovnané s hodnotami s literatúry. | sk |
| dc.description.abstract | This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature. | en |
| dc.description.mark | B | cs |
| dc.identifier.citation | VANČÍK, S. Topná MEMS platforma pro chemické senzory [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018. | cs |
| dc.identifier.other | 111795 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/80879 | |
| dc.language.iso | sk | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | MEMS | sk |
| dc.subject | vyhrievacia platforma | sk |
| dc.subject | fotolitografia | sk |
| dc.subject | stres | sk |
| dc.subject | tepelná vodivosť | sk |
| dc.subject | oxid kremíku | sk |
| dc.subject | MEMS | en |
| dc.subject | microhotplate | en |
| dc.subject | photolithography | en |
| dc.subject | stress | en |
| dc.subject | thermal conductivity | en |
| dc.subject | silicon dioxide | en |
| dc.title | Topná MEMS platforma pro chemické senzory | sk |
| dc.title.alternative | MEMS microhotplate platform for chemical sensors | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2018-06-06 | cs |
| dcterms.modified | 2018-06-08-11:09:56 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 111795 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 13:32:38 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.17 14:22:13 | en |
| thesis.discipline | Mikroelektronika | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |