VANČÍK, S. Topná MEMS platforma pro chemické senzory [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018.
Předmětem diplomové práce byla oblast mikroelektromechanických systémů (MEMS). Konkrétně se jednalo o MEMS vyhřívací platformu pro chemorezistivních senzory plynů. V teoretické části práce student prokázal schopnost pracovat s literaturou, ze které vybral a zpracoval nejpodstatnější části, které následně využil při zpracovávání praktické části práce. Praktickou část práce představoval návrh závěsných membrán a topných elementů, teplotní a elektrické simulace, návrh masek a technologického postupu výroby, výrobu navržených struktur a jejich teplotní a elektrické charakterizace. Zde student dostatečně prokázal své schopnosti rychle se zorientovat v nové problematice a prakticky si osvojil některé mikroelektronické technologie. Výsledky přehledně vyhodnotil a porovnal s údaji dosaženými v jiných pracích. Student Silvestr Vančík přistupoval po celou dobu k práci na diplomovém projektu zodpovědně a účastnil se schůzek v předem dohodnutých termínech. Věnoval se řádně studiu jím vybrané i vedoucím doporučené literatury a přicházel samostatně s návrhy řešení situací a problémů. Závěrečné zpracování a sepsání výsledků do diplomové práce proběhlo i přes řadu obtíží s nefunkčními technologiemi včas, i když ne úplně vše je zpracováno podle mých představ. Formální zpracování práce je i přesto na dobré úrovni. Kvalitu práce rovněž podtrhuje fakt, že výsledky práce již byly prezentovány na mezinárodní konferenci 41st International Spring Seminar on Electronics Technology – ISSE 2018 konané v Srbsku, kde je student spoluautorem. Věřím, že celková kvalita práce je vysoká a že bude přínosem pro další rozvoj centrální laboratoře CEITEC Nano Středoevropského technologického institutu. S ohledem na uvedené skutečnosti navrhuji hodnocení B 87b.
Předložená práce se zabývá tématem topné mebrány v rámci MEMS technologie s využitím pro chemické senzory. Téma je aktuální a všechny fáze řešení dáného tématu poskytly zajímavé informace, které najdou své využití, stejně tak jako samotné zařízení, které bude použito při charakterizaci chemických senzorů. V teoretickém úvodu student přestavuje úvod do MEMS technologií, základní používané struktury, zakladní pojmy přenosu tepla a stručně definuje pojmy snímač, sensor, mikrosenzor. V následující časti se detailněji věnuje MEMS výrobním procesům. Kapitola je přehledná a logicky poskládaná s vyjímkou neštastného zařazení ALD procesu mezi PVD depoziční techniky. Student čerpal z dostatečného množství odborné literatury včetně anglické. V praktické časti student nejprve představuje design a následně popisuje časovou teplotní simulaci provedenou programem AnsysWorkbench. Dále diskutuje jednotlivé technologické kroky výroby. Samotný popis jednotlých kroků je detailní a obsahuje všechny nezbytné informace včetně fotek optického a následně elektronového mikroskopu. Následuje zakladní elektricka charakterizace včetně meření teplotního součinitele elektrického odporu a určení zavislosti vyhřevné teploty na dodaném výkonu. V závěru pak student kriticky hodnotí dosažené výsledku a navrhuje možná řešení. Student uspěšně zvládl výrobu topné MEMS platformy pro chemické senzory na velmi vysoké úrovni. V rámci splnění ukolu musel vyřešít nejeden technologický problém. Diplomová práce dobře srhnuje a popisuje jednotlivé fáze designu, simulace, výroby a charakterizace. Bohužel také obsahuje formální nedostatky a některé nepřestnosti. Z těchto důvodů doporučuji práci k obhajobě a hodnotím stupněm B s bodovým ziskem 83 bodů.
eVSKP id 111795