Topná MEMS platforma pro chemické senzory
Loading...
Date
Authors
Vančík, Silvester
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Táto diplomová práca sa zaoberá oblasťou návrhu a výroby mikroelektromechanickej vyhrievacej platformy pre chemické senzory plynov. V teoretickej časti sú popísané MEMS, senzory a výrobné procesy a technológie potrebné pre výrobu takejto platformy. Praktická časť obsahuje simulácie, návrh masiek kompletnú výrobu od masiek až po samotnú platformu na čipe. V práci sa tiež nachádzajú výsledky charakterizácie vyrobenej vyhrievacej platformy v porovnaním so simuláciami. Výsledky sú taktiež porovnané s hodnotami s literatúry.
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
This master’s thesis deals with design and fabrication of MEMS microhotplate platform for chemical gas sensors. The theoretical part describes MEMS, sensors and processes and technologies needed for fabrication of micro hotplate. The practical part includes simulations, masks and step by step microhotplate fabrication. Fabricated heating membrane was characterized and compared to theoretical values from simulations and to similar devices presented in literature.
Description
Keywords
Citation
VANČÍK, S. Topná MEMS platforma pro chemické senzory [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
sk
Study field
Mikroelektronika
Comittee
prof. Ing. Jaroslav Boušek, CSc. (předseda)
doc. Ing. Lukáš Fujcik, Ph.D. (místopředseda)
doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (člen)
Ing. Marek Bohrn, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Jan Pekárek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2018-06-06
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Dále odpověděl na otázky komise:
Proč je vhodnější použít zavěsnou membránu před uzavřenou?
Co mohou být hlavní přičiny stresu v oxidových vrstvách?
Mohl byste více vysvětlit popis anizotropního leptání ve své práci?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena