Elektrostatické vychylovací a korekční systémy

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorZlámal, Jakubcs
dc.contributor.authorBadin, Viktorcs
dc.contributor.refereeOral, Martincs
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractTato diplomová práce se věnuje prozkoumání možností dynamické korekce vad v elektronové litografii. Pro výpočty byl zvolen elektronový litograf BS600. Práce se zabývá korekcí vad vychýlení třetího řádu: zklenutí pole, astigmatismu a zkreslení. Aberace byly spočteny jak pro současný magnetický vychyolvací systém, tak pro nově navržený elektrostatický deflektor. Vlastnosti a vady obou vychylovacích a korekčních systémů byly porovnány.cs
dc.description.abstractThe aim of this master's thesis is to explore and study dynamic aberration correction options in electron-beam lithography systems. For the calculations, the thesis uses the optical column of the BS600 electron-beam writer. The thesis focuses on corrections of the third order field curvature, astigmatism, and distortion aberrations of the currently used magnetic deflection system and a newly designed electrostatic deflection system. The parameters of the two deflection and correction systems were compared.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationBADIN, V. Elektrostatické vychylovací a korekční systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other84300cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/41780
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectElektronová litografiecs
dc.subjectvady zobrazenícs
dc.subjectoptika nabitých částiccs
dc.subjectdynamická korekce vadcs
dc.subjectzklenutí polecs
dc.subjectastigmatismuscs
dc.subjectzkreslení.cs
dc.subjectElectron-beam lithographyen
dc.subjectaberrationsen
dc.subjectcharged particle opticsen
dc.subjectdynamic aberration correctionen
dc.subjectfield curvatureen
dc.subjectastigmatismen
dc.subjectdistortion.en
dc.titleElektrostatické vychylovací a korekční systémycs
dc.title.alternativeElectrostatic Deflection and Correction Systemsen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-22cs
dcterms.modified2015-06-24-13:49:22cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid84300en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 07:58:42en
sync.item.modts2025.01.17 14:25:55en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.15 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_84300.html
Size:
10.58 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_84300.html
Download
Collections
2015