BADIN, V. Elektrostatické vychylovací a korekční systémy [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.
Diplomant při řešení zadání objevil chybu ve výpočtu koeficientů vad programu EOD, která zpomalila jeho práci. Nevěnoval tak dostatečnou pozornost různým možnostem návrhu čočky pro dynamickou fokusaci, jak je požadováno v zadání. Pokusil se však prozkoumat i jiné varianty umístění této čočky, které by byly použitelné pro litograf s tvarovaným svazkem. Student pracoval samostatně a prokázal velmi dobrou schopnost interpretace získaných výsledků.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | B | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | B | ||
| Vlastní přínos a originalita | B | ||
| Schopnost interpretovat dosažené vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Práce s literaturou včetně citací | C | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | A | ||
| Samostatnost studenta při zpracování tématu | A |
Diplomová práce Viktora Badina je věnována studiu elektronové optiky vychylovacích soustav včetně jejich primárních vad a možností jejich korekce. Jako vhodný optický systém, na kterém jsou dosažené závěry pomocí simulací předvedeny, je zvolen elektronový litograf Tesla BS600. Práce navrhuje různé varianty praktického uspořádání korekce s využitím stávajících nebo přidaných optických prvků. V první kapitole je přehled základní teorie elektronové optiky a optických prvků. Motivace ke studiu vad vychýlení a jejich korekce v elektronovém litografu obecně a následně i v případě daného systému plyne z druhé a třetí kapitoly. Ve čtvrté a páté kapitole jsou nejprve zmíněny možnosti eliminace některých vad vhodným nastavením deflektorů, zejména jsou pak popsány možnosti dynamické korekce zklenutí pole a astigmatismu, a to pomocí buď magnetických, nebo elektrostatických korekčních prvků. Právě v těchto dvou kapitolách se nejvíce projevují autorovy tvůrčí schopnosti. Pro korekci uvedených dvou vad autor předkládá několik možností. Napětí a proudy dynamických fokusačních prvků určuje jednak pomocí funkce v programu EOD, jednak výpočtem aberačních integrálů. Druhá možnost je sice založena na postupu, který publikovali Zhu, Liu a Munro, autorův přínos je zde v odvození relativistických vztahů. V případě elektrostatické korekce zklenutí pole pan Badin předkládá různé varianty realizace. V případě korekce astigmatismu jsou srovnány výpočty pomocí fitování aberačního polynomu a opět pomocí aberačního integrálu. Je provedena diskuse vlivu geometrických vad ve srovnání s chromatickými vadami. Diplomová práce je psaná anglicky. Stylistickou a jazykovou úroveň považuji za výbornou; v textu se občas vyskytují drobné chyby, např. nesprávná interpunkce (hlavně v úvodní kapitole), volba nevhodných typů minulého času, psaní mezery mezi číselným údajem a jednotkou, když jde o adjektivum, občasný nesprávný člen, několik překlepů v textu i ve vzorcích. Tyto drobné nedostatky příliš nebrání plynulému vnímání textu. Některé skutečnosti jsou konstatovány bez odkazu na literaturu nebo bez upozornění, že budou nakonec odvozeny nebo uvedeny: definice (z) za rovnicí (1.28), vztah (4.3) a podobně i (4.26). Grafická úprava práce a její sazba je na vynikající úrovni. Z práce je zjevné, že autor rozumí danému problému a je schopen nabyté vědomosti využít jednak k vlastnímu tvůrčímu bádání, a jednak ze získaných výsledků vyvodit prakticky důležité závěry.
| Kritérium | Známka | Body | Slovní hodnocení |
|---|---|---|---|
| Splnění požadavků a cílů zadání | A | ||
| Postup a rozsah řešení, adekvátnost použitých metod | A | ||
| Vlastní přínos a originalita | A | ||
| Schopnost interpretovat dosaž. vysledky a vyvozovat z nich závěry | A | ||
| Využitelnost výsledků v praxi nebo teorii | A | ||
| Logické uspořádání práce a formální náležitosti | B | ||
| Grafická, stylistická úprava a pravopis | B | ||
| Práce s literaturou včetně citací | B |
eVSKP id 84300