Design and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochlea

Simple item page
dc.contributor.authorSvatoš, Vojtěchcs
dc.contributor.authorPekárek, Jancs
dc.contributor.authorDušek, Danielcs
dc.contributor.authorŽák, Jaromírcs
dc.contributor.authorHadaš, Zdeněkcs
dc.contributor.authorPrášek, Jancs
dc.coverage.issue1cs
dc.coverage.volume100cs
dc.date.issued2015-01-02cs
dc.description.abstractThe micro-electro-mechanical array for application as fully implantable cochlea is presented in this paper. The complete system including a short overview of energy harvesting and the system configuration is proposed. This study mainly covers mechanical properties of cochlea microfabricated silicon structure. Electro-mechanical simulations are proceeded to optimize the material used for resonators, the size of array membranes and to estimate the resistive change due to the input sound signal. The sound is detected by thin SiXNY diaphragm due to resonant frequency and the displacement of the membrane caused by acoustic pressure. The displacement is detected employing piezoresistive electrodes (NiCr). Design and fabrication process based on MEMS technology are described and discussed. The response measurement of the cochlea structure is performed.en
dc.description.abstractMikro-elektro-mechanický pole plně implantabilní hlemýžď je uveden v tomto článku.Kompletní systém včetně krátký přehled o sklizni energie a konfiguraci systému se navrhuje. Tato studie se týká hlavně mechanický vlastnosti hlemýždě mikrofabrikovaném křemíkové struktuře. Elektromechanické simulace pokračoval optimalizaci materiálu používá pro rezonátory, velikost pole membrán a pro odhad odporové změny v důsledku zvukového signálu na vstupu. Zvuk je detekovány tenkou SiXNY membránou v důsledku rezonanční frekvence a posunutí membrány způsobené akustického tlaku. Posunutí je detekován zaměstnává piezorezistivních elektrody (NiCr). Design a zhotovení proces založený na MEMS technologie jsou popsány a diskutovány.Měření odezvy konstrukce hlemýždě se provádí.cs
dc.formattextcs
dc.format.extent1224-1231cs
dc.format.mimetypeapplication/pdfcs
dc.identifier.citationEnergy Procedia. 2015, vol. 100, issue 1, p. 1224-1231.en
dc.identifier.doi10.1016/j.proeng.2015.01.487cs
dc.identifier.isbn978-3-901509-99-5cs
dc.identifier.issn1876-6102cs
dc.identifier.orcid0000-0002-9857-1981cs
dc.identifier.orcid0000-0002-9097-1550cs
dc.identifier.orcid0000-0003-1228-5712cs
dc.identifier.other114544cs
dc.identifier.researcheridD-7620-2012cs
dc.identifier.researcheridI-4299-2014cs
dc.identifier.researcheridE-2387-2012cs
dc.identifier.scopus35173314700cs
dc.identifier.scopus24767676300cs
dc.identifier.scopus7003947942cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/194754
dc.language.isoencs
dc.publisherElseviercs
dc.relation.ispartofEnergy Procediacs
dc.relation.urihttps://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S1877705815005147cs
dc.rightsCreative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internationalcs
dc.rights.accessopenAccesscs
dc.rights.sherpahttp://www.sherpa.ac.uk/romeo/issn/1876-6102/cs
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/cs
dc.subjectCochlear implanten
dc.subjectMEMSen
dc.subjectproceeding electronicsen
dc.subjectfabricationen
dc.subjectsimulationen
dc.subjectdiaphragmen
dc.subjectKochleární implantát
dc.subjectMEMS
dc.subjectproceeding electronics; výroba
dc.subjectsimulace
dc.subjectdiafragma
dc.titleDesign and Fabrication of Fully Implantable MEMS Cochleaen
dc.title.alternativeNávrh a výroba plně implatabilní MEMS kochleycs
dc.type.driverconferenceObjecten
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.type.versionpublishedVersionen
sync.item.dbidVAV-114544en
sync.item.dbtypeVAVen
sync.item.insts2025.02.03 15:40:57en
sync.item.modts2025.01.17 16:47:50en
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Středoevropský technologický institut VUT. Chytré nanonástrojecs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
1s2.0S1877705815005147main.pdf
Size:
1.05 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
1s2.0S1877705815005147main.pdf
Download
Collections
Chytré nanonástroje
Ústav mikroelektroniky