Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
| but.committee | doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (místopředseda) Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen) doc. Ing. Vilém Kledrowetz, Ph.D. (člen) Ing. Jaromír Žák, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky k diskuzi: Pulzní naprašování? - ano, pulzně. Řízení parciálním tlakem nebo průtokem? - průtokem. Co znamená stechiometrie/nestechiometrie? - zodpovězeno. Dá se zjistit limit, lze vytvořit vrstvy více než kolem 200nm? - omezení časové. Jaký díl útlumu je rozptylem a absorbcí? - neměřilo se. | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Fořt, Tomáš | cs |
| dc.contributor.author | Dušek, Jan | cs |
| dc.contributor.referee | Boušek, Jaroslav | cs |
| dc.date.created | 2016 | cs |
| dc.description.abstract | Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít. | cs |
| dc.description.abstract | Diploma thesis describes technology of pulse reactive magnetron sputtering of Al2O3 coating. Furthermore it deals with design of deposition process and testing new aluminium target. The technological window was determined by tests. As a result, it was possible to create Al2O3 coatings in the widest possible working range. The coatings created by apparatus PLS 160 were tested for optical properties in order to obtain transmittance. Besides the optical tests, the evaluation of mechanical properties and adhesion were performed. The obtained results from measurement were evaluated. Based on the results, some possible applications of the coating were suggested. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | DUŠEK, J. Reaktivní naprašování vrstev Al2O3 [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016. | cs |
| dc.identifier.other | 93997 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/59761 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Reaktivní naprašování | cs |
| dc.subject | vlastnosti vrstev Al2O3 | cs |
| dc.subject | pulzní naprašování | cs |
| dc.subject | nadeponované vrstvy Al2O3 | cs |
| dc.subject | optické vlastnosti | cs |
| dc.subject | mechanické vlastnosti | cs |
| dc.subject | adheze | cs |
| dc.subject | Reactive sputtering | en |
| dc.subject | properties of Al2O3 films | en |
| dc.subject | pulse sputtering | en |
| dc.subject | deposited films of Al2O3 | en |
| dc.subject | optical properties | en |
| dc.subject | mechanical properties | en |
| dc.subject | adhesion | en |
| dc.title | Reaktivní naprašování vrstev Al2O3 | cs |
| dc.title.alternative | Reactive sputtering Al2O3 | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2016-06-07 | cs |
| dcterms.modified | 2016-06-10-12:57:23 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 93997 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 13:23:08 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 14:40:38 | en |
| thesis.discipline | Mikroelektronika | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |