DUŠEK, J. Reaktivní naprašování vrstev Al2O3 [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Student Jan Dušek ve své práci popisuje technologii reaktivního pulzního magnetronového naprašování vrstev z hliníkového terče za přítomnosti argonu a kyslíku. Podle zadání se mu podařilo vytvořit sérii vzorků s korundovou vrstvou, na kterých dále ověřil tloušťku, mechanické a optické vlastnosti. Podrobně popisuje postup při zhotovení vzorků a nalezení optimálních parametrů. V průběhu řešení diplomové práce pracoval pečlivě a samostatně. Technologické potíže pravidelně konzultoval a pro vyhodnocení vlastností vzorků využil zkušenosti dalších odborníků. Práci při dokončování pravidelně konzultoval a odevzdal v rozsahu 83 stran. Při práci s literaturou využil doporučených zdrojů a samostatně vyhledával a citoval literaturu. Práce je pečlivě a logicky zpracována na velmi vysoké úrovni. Zdání bylo splněno v plném rozsahu a doporučuji k obhajobě s hodnocením výborně.
Zadání se řešilo pro potřeby Ústavu přístrojové techniky AV ČR. Cílem práce bylo odladění procesu reaktivního naprašování po výměně opotřebovaného terče. Základní znalosti o depozičním procesu tedy byly k dispozici. Úkolem diplomanta bylo tyto znalosti aplikovat na nový terč a po odladění parametrů proměřit vlastnosti deponovaných vzorků a na základě těchto vlastností rozhodnout o potenciálních aplikacích vrstev. Zadání práce je velmi aktuální. Oxid hlinitý má vynikající optické, mechanické a také elektrické vlastnosti a má proto velmi mnoho současných a potenciálních aplikací. Zavedení metody pulzního naprašování umožnilo jeho reprodukovatelnou depozici s poměrně velkou depoziční rychlostí. Celý proces je však stále citlivý na přesné nastavení parametrů. Řešení diplomové práce proto představuje poměrně značné úsilí pro zvládnutí rozsáhlé problematiky vakuových depozic a provedení velkého množství depozičních experimentů s komplexní charakterizací deponovaných vrstev. Optimalizace procesních parametrů vyžadovala značnou trpělivost a pečlivé zpracování naměřených údajů. Zpracování práce bylo tedy odborně i časově náročné. Předložená práce má velmi dobrou grafickou i odbornou úroveň. Má 83 stran a je použito 45 odkazů, které jsou v textu systematicky citovány. Vvýhrady mám jen k popisu provedených experimentů: 1) Chování výboje při depozičních experimentech je v práci popisováno pouze pomocí předpětí na magnetronu. Na str. 44 je uvedeno, že by použit výkon 300 W. Není však jasné zda tento výkon byl použit jen pro experiment popisovaný na str. 44 nebo zda byl tento výkon použit pro všechny depozice, protože v dalším textu údaje o výkonu již uváděny nejsou. 2) Na mnoha místech textu není jasné, zda se pod pojmem "parciální tlak" vyjadřuje tlak jednotlivých složek a nebo součet parciálních tlaků a tedy celkový tlak v aparatuře. 3) Popis měření vlastností jednotlivých vzorků se opakuje téměř u každého experimentu. Dle mého názoru by bylo mnohem přehlednější popsat metodiku měření, která je pro všechny vzorky stejná a výsledky měření zpracovat v tabulce. Zde by mohly být také údaje o výkonu a o parciálních tlacích a výsledky by byly přehlednější. Tyto nedostatky ani drobná opomenutí, která se v práci vyskytují, však vliv na srozumitelnost textu nemají a celkovou úroveň práce významně nezhoršují. Zadání práce bylo v plném rozsahu splněno. Na základě výše uvedených skutečností předloženou práci doporučuji k obhajobě.
eVSKP id 93997