Reaktivní naprašování vrstev Al2O3
Loading...
Date
Authors
Dušek, Jan
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Diplomová práce popisuje technologii pulzního magnetronového naprašování vrstev Al2O3. Dále se tato práce zabývá návrhem depozičního procesu a jeho testováním pro nový hliníkový terč. Testováním bylo určeno technologické okno nového terče. Díky tomu bylo možné vytvořit vrstvy Al2O3 v nejširším možném pracovním rozmezí. Vrstvy vytvořené pomocí aparatury PLS 160 byly podrobeny testování optických vlastností pro získání propustnosti vrstvy. Kromě optických testů bylo provedeno vyhodnocení mechanických vlastností a adheze. Získané výsledky z jednotlivých měření byly vyhodnoceny. Podle získaných výsledků vlastností vrstev byl proveden návrh potenciálních aplikací, pro které by bylo možné vrstvu použít.
Diploma thesis describes technology of pulse reactive magnetron sputtering of Al2O3 coating. Furthermore it deals with design of deposition process and testing new aluminium target. The technological window was determined by tests. As a result, it was possible to create Al2O3 coatings in the widest possible working range. The coatings created by apparatus PLS 160 were tested for optical properties in order to obtain transmittance. Besides the optical tests, the evaluation of mechanical properties and adhesion were performed. The obtained results from measurement were evaluated. Based on the results, some possible applications of the coating were suggested.
Diploma thesis describes technology of pulse reactive magnetron sputtering of Al2O3 coating. Furthermore it deals with design of deposition process and testing new aluminium target. The technological window was determined by tests. As a result, it was possible to create Al2O3 coatings in the widest possible working range. The coatings created by apparatus PLS 160 were tested for optical properties in order to obtain transmittance. Besides the optical tests, the evaluation of mechanical properties and adhesion were performed. The obtained results from measurement were evaluated. Based on the results, some possible applications of the coating were suggested.
Description
Keywords
Reaktivní naprašování , vlastnosti vrstev Al2O3 , pulzní naprašování , nadeponované vrstvy Al2O3 , optické vlastnosti , mechanické vlastnosti , adheze , Reactive sputtering , properties of Al2O3 films , pulse sputtering , deposited films of Al2O3 , optical properties , mechanical properties , adhesion
Citation
DUŠEK, J. Reaktivní naprašování vrstev Al2O3 [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2016.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika
Comittee
doc. Ing. František Urban, CSc. (předseda)
doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Vilém Kledrowetz, Ph.D. (člen)
Ing. Jaromír Žák, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2016-06-07
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cílem a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky k diskuzi:
Pulzní naprašování? - ano, pulzně.
Řízení parciálním tlakem nebo průtokem? - průtokem.
Co znamená stechiometrie/nestechiometrie? - zodpovězeno.
Dá se zjistit limit, lze vytvořit vrstvy více než kolem 200nm? - omezení časové.
Jaký díl útlumu je rozptylem a absorbcí? - neměřilo se.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena