Nanoelektrody pro biofyzikální měření

but.committeeprof. Ing. Dalibor Biolek, CSc. (předseda) Ing. Daniel Bečvář, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen) doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl následující dotazy. Myslíte si, že odstraňování rezistu SU-8 pomocí plazmatického leptání je vhodné, neexistuje i jiná šetrnější metoda? V kap. 6.3.5 uvádíte vyrobenou porézní masku. Co tedy zabránilo finální depozici nanodrátků, popř. jaký postup byste navrhl pro úspěšnou finalizaci projektu? V závěru k tomu uvádíte "optimalizaci času", vysvětlete prosím.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorHubálek, Jaromírcs
dc.contributor.authorMárik, Mariancs
dc.contributor.refereeHrdý, Radimcs
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractCílem projektu je návrh nanoelektrody na zadanou křemíkovou desku s dopředu určenými přísadami a tenkovstvými technikami v kombinaci litografie a nanotechniky, vyvinutými v LabSensNano. Práce se zabývá hlavně procesem litografie a před procesní přípravou křemíkové desky. Dále je uveden stručný návrh elektrod, návrh pro realizaci a stav praktické experimentace.cs
dc.description.abstractThe aim of the project is formation of nanoelectrodes on the silicon wafer surface by thin-film techniques combined with lithography and nanotechniques developed in LabSensNano. Project is engaged in lithography and in preparation of silicon wafers. Furthermore is proposed a brief proposal of electrodes, proposal of realization and current state of the experiment.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationMÁRIK, M. Nanoelektrody pro biofyzikální měření [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.cs
dc.identifier.other40894cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/1910
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectLitografiecs
dc.subjectfotorezistcs
dc.subjectčištěnícs
dc.subjectnanoelektrodycs
dc.subjectmaskovánícs
dc.subjectvlnová délkacs
dc.subjectvyvolánícs
dc.subjectleptánícs
dc.subjectanodizacecs
dc.subjectdepozicecs
dc.subjectLithographyen
dc.subjectphoto resisten
dc.subjectcleaningen
dc.subjectnanoelectrodesen
dc.subjectmaskingen
dc.subjectwave lengthen
dc.subjectdevelopingen
dc.subjectetchingen
dc.subjectanodizingen
dc.subjectdepositionen
dc.titleNanoelektrody pro biofyzikální měřenícs
dc.title.alternativeNanoelectrodes for biophysical measurementsen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2011-06-13cs
dcterms.modified2011-07-15-10:45:40cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid40894en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:17:32en
sync.item.modts2025.01.15 21:39:05en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.46 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_40894.html
Size:
7.88 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_40894.html
Collections