Příprava polovodičových vzorků pro transmisní elektronovou mikroskopii
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.defence | Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Jaký vzorek byl použit při experimentech. Jaký je původ rozmazaných stop v difrakčním obrazci vzorku. Interakce iontu s pevnou látkou. Student na otázky odpověděl. | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Horák, Michal | cs |
| dc.contributor.author | Bajo, Viktor | cs |
| dc.contributor.referee | Bukvišová, Kristýna | cs |
| dc.date.created | 2023 | cs |
| dc.description.abstract | Tato bakalářská práce se zabývá problematikou přípravy vzorků z polovodičových materiálů pro transmisní elektronovou mikroskopii. V teoretické části jsou obecně popsány nejpoužívanější metody předpřípravy a finalizační metody užívané k vytvoření ultratenkých oblastí průhledných pro elektronový svazek mikroskopu. Následuje přehled experimentálního vybavení použitého v praktické části k samotné přípravě vzorků. Připravil jsem dva vzorky z monokrystalického křemíku, jeden metodou mechanické přípravy s následným iontovým leštěním, další v podobě lamely vyrobené na rastrovacím elektronovém mikroskopu vybaveného fokusovaným iontovým svazkem. Mechanická příprava je výrazně časově náročnější, provádí se na několika specializovaných přístrojích a hrozí u ní znehodnocení celého zkoumaného objektu. Příprava lamel je vcelku rychlá a umožňuje vybrat velmi malou oblast zájmu, přičemž zbytek vzorku zůstane netknutý, na druhou stranu vyžaduje alespoň základní dovednosti práce s elektronovým mikroskopem. Oběma metodami lze připravit kvalitní vzorky vhodné k analýze v transmisním elektronovém mikroskopu. Celý postup jsem zdokumentoval v praktické části, která může sloužit jako návod na přípravu těchto vzorků. | cs |
| dc.description.abstract | This bachelor thesis deals with the preparation of samples from semiconductors for transmission electron microscopy. In the theoretical part, the most common methods of pre-preparation and finishing methods used to create ultrathin regions transparent to the electron beam of the microscope are generally described. This is followed by an overview of the experimental equipment used in the practical part for the actual sample preparation. I prepared two single crystal silicon samples, one by mechanical preparation followed by ion polishing, the other in the form of a lamella fabricated using a scanning electron microscope equipped with a focused ion beam. Mechanical preparation is significantly more time-consuming, is performed on several specialised instruments and risks destruction of the whole object under investigation. Preparation of the lamellae is relatively fast and allows a very small area of interest to be selected, leaving the rest of the sample intact but, on the other hand, requires at least basic skills in scanning electron microscopy. Both methods can be used to prepare good quality samples suitable for analysis in a transmission electron microscope. I have documented the whole procedure in the practical section that can serve as a guide for the preparation of these samples. | en |
| dc.description.mark | C | cs |
| dc.identifier.citation | BAJO, V. Příprava polovodičových vzorků pro transmisní elektronovou mikroskopii [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2023. | cs |
| dc.identifier.other | 149904 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/213165 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | FIB | cs |
| dc.subject | TEM | cs |
| dc.subject | lamela | cs |
| dc.subject | mechanická příprava | cs |
| dc.subject | polovodiče | cs |
| dc.subject | příprava vzorků | cs |
| dc.subject | FIB | en |
| dc.subject | TEM | en |
| dc.subject | lamella | en |
| dc.subject | mechanical preparation | en |
| dc.subject | semiconductors | en |
| dc.subject | sample preparation | en |
| dc.title | Příprava polovodičových vzorků pro transmisní elektronovou mikroskopii | cs |
| dc.title.alternative | Preparation of semiconductor samples for transmission electron microscopy | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2023-06-22 | cs |
| dcterms.modified | 2023-06-26-08:29:16 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 149904 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 08:19:27 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 13:47:44 | en |
| thesis.discipline | bez specializace | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |