Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním
| but.committee | prof. Ing. Dalibor Biolek, CSc. (předseda) Ing. Daniel Bečvář, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen) doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (člen) | cs |
| but.defence | Student seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl následující dotazy. Vysvětlete, proč se neprováděl proces žíhání u experimentálních vzorků. Vysvětlete z jakých důvodů pro napařování byly zvolené Al (hliník), Ni (nikl), Cu (měď) a Ag (stříbro). Doporučte jiný způsob řízení napařovací rychlosti u Al (hliníku) a Ni (niklu). | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Šandera, Josef | cs |
| dc.contributor.author | Milichovský, Miloš | cs |
| dc.contributor.referee | Švecová, Olga | cs |
| dc.date.created | 2011 | cs |
| dc.description.abstract | Práce se zabývá vakuovým napařováním kovů, a to jak základními principy této technologie, tak i zkoumáním vlastností výsledné vrstvy. Je zde popsána funkce napařovacího zařízení a jeho jednotlivé části. Stěžejní část práce se zabývá napařováním mědi i dalších látek a vodivostí výsledného filmu ve vztahu k jeho tloušťce. Jako parametr při měření je zadána teplota substrátu. | cs |
| dc.description.abstract | This work deals with vacuum evaporation of metals, basic principles of this technology and exploring the properties of the resulting layer. It describes how vacuum evaporation works and its individual parts.The main part deals with evaporation of copper and other substances and the conductivity of the resulting film in relation to its thickness. As a parameter for measuring substrate temperature is specified. | en |
| dc.description.mark | C | cs |
| dc.identifier.citation | MILICHOVSKÝ, M. Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011. | cs |
| dc.identifier.other | 40895 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/1912 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Vakuové napařování | cs |
| dc.subject | vrstva | cs |
| dc.subject | teplota | cs |
| dc.subject | výparník | cs |
| dc.subject | napařovaný materiál | cs |
| dc.subject | recipient | cs |
| dc.subject | tlak | cs |
| dc.subject | vodivost | cs |
| dc.subject | vývěva. | cs |
| dc.subject | Vacuum evaporation | en |
| dc.subject | layer | en |
| dc.subject | temperature | en |
| dc.subject | vaporizer | en |
| dc.subject | evaporation material | en |
| dc.subject | recipient | en |
| dc.subject | pressure | en |
| dc.subject | conductivity | en |
| dc.subject | air-pump. | en |
| dc.title | Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním | cs |
| dc.title.alternative | Properties of metal layers realized with vapour deposition | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2011-06-13 | cs |
| dcterms.modified | 2011-07-15-10:45:58 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 40895 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.16 13:17:33 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 22:41:57 | en |
| thesis.discipline | Mikroelektronika a technologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |