Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním

but.committeeprof. Ing. Dalibor Biolek, CSc. (předseda) Ing. Daniel Bečvář, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Pavel Šteffan, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen) doc. Ing. Pavel Legát, CSc. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil komisi s řešením své bakalářské práce a zodpověděl následující dotazy. Vysvětlete, proč se neprováděl proces žíhání u experimentálních vzorků. Vysvětlete z jakých důvodů pro napařování byly zvolené Al (hliník), Ni (nikl), Cu (měď) a Ag (stříbro). Doporučte jiný způsob řízení napařovací rychlosti u Al (hliníku) a Ni (niklu).cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorŠandera, Josefcs
dc.contributor.authorMilichovský, Milošcs
dc.contributor.refereeŠvecová, Olgacs
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractPráce se zabývá vakuovým napařováním kovů, a to jak základními principy této technologie, tak i zkoumáním vlastností výsledné vrstvy. Je zde popsána funkce napařovacího zařízení a jeho jednotlivé části. Stěžejní část práce se zabývá napařováním mědi i dalších látek a vodivostí výsledného filmu ve vztahu k jeho tloušťce. Jako parametr při měření je zadána teplota substrátu.cs
dc.description.abstractThis work deals with vacuum evaporation of metals, basic principles of this technology and exploring the properties of the resulting layer. It describes how vacuum evaporation works and its individual parts.The main part deals with evaporation of copper and other substances and the conductivity of the resulting film in relation to its thickness. As a parameter for measuring substrate temperature is specified.en
dc.description.markCcs
dc.identifier.citationMILICHOVSKÝ, M. Vlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařováním [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.cs
dc.identifier.other40895cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/1912
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectVakuové napařovánícs
dc.subjectvrstvacs
dc.subjectteplotacs
dc.subjectvýparníkcs
dc.subjectnapařovaný materiálcs
dc.subjectrecipientcs
dc.subjecttlakcs
dc.subjectvodivostcs
dc.subjectvývěva.cs
dc.subjectVacuum evaporationen
dc.subjectlayeren
dc.subjecttemperatureen
dc.subjectvaporizeren
dc.subjectevaporation materialen
dc.subjectrecipienten
dc.subjectpressureen
dc.subjectconductivityen
dc.subjectair-pump.en
dc.titleVlastnosti kovových vrstev realizovaných vakuovým napařovánímcs
dc.title.alternativeProperties of metal layers realized with vapour depositionen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2011-06-13cs
dcterms.modified2011-07-15-10:45:58cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid40895en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:17:33en
sync.item.modts2025.01.15 22:41:57en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektronikycs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.21 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_40895.html
Size:
7.17 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_40895.html
Collections