Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC

Abstract

Bakalářská práce se zabývá diagnostikou polovodičových materiálů metodou EBIC (měření proudu indukovaného svazkem) s využitím rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM). Práce popisuje princip činnosti rastrovacího elektronového mikroskopu, vysvětluje interakci elektronů s pevnou látkou a metodu EBIC. V teoretické části je také objasněn princip elektrické vodivosti polovodičů. Pomocí metody EBIC lze zkoumat dobu života a difuzní délku minoritních nosičů v polovodičích, na což je právě zaměřena praktická část práce.The bachelor's thesis deals with the diagnostics of semiconductor materials by the EBIC method (beam induced current measurement) using a scanning electron microscope (SEM). The thesis describes the principle of operation of the scanning electron microscope, explains the interaction of electrons with a solid substance and the EBIC method. The principle of electrical conductivity of semiconductors is also explained in the theoretical part. Using the EBIC method, the lifetime and diffusion length of minority carriers in semiconductors can be investigated, which is what the practical part of the work is focused on.