Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC
Loading...
Date
Authors
Kuznetsov, Vitalii
ORCID
Advisor
Referee
Mark
B
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract
Bakalářská práce se zabývá diagnostikou polovodičových materiálů metodou EBIC (měření proudu indukovaného svazkem) s využitím rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM). Práce popisuje princip činnosti rastrovacího elektronového mikroskopu, vysvětluje interakci elektronů s pevnou látkou a metodu EBIC. V teoretické části je také objasněn princip elektrické vodivosti polovodičů. Pomocí metody EBIC lze zkoumat dobu života a difuzní délku minoritních nosičů v polovodičích, na což je právě zaměřena praktická část práce.
The bachelor's thesis deals with the diagnostics of semiconductor materials by the EBIC method (beam induced current measurement) using a scanning electron microscope (SEM). The thesis describes the principle of operation of the scanning electron microscope, explains the interaction of electrons with a solid substance and the EBIC method. The principle of electrical conductivity of semiconductors is also explained in the theoretical part. Using the EBIC method, the lifetime and diffusion length of minority carriers in semiconductors can be investigated, which is what the practical part of the work is focused on.
The bachelor's thesis deals with the diagnostics of semiconductor materials by the EBIC method (beam induced current measurement) using a scanning electron microscope (SEM). The thesis describes the principle of operation of the scanning electron microscope, explains the interaction of electrons with a solid substance and the EBIC method. The principle of electrical conductivity of semiconductors is also explained in the theoretical part. Using the EBIC method, the lifetime and diffusion length of minority carriers in semiconductors can be investigated, which is what the practical part of the work is focused on.
Description
Keywords
Citation
KUZNETSOV, V. Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2024.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Petr Vyroubal, Ph.D. (místopředseda)
Ing. Pavel Čudek, Ph.D. (člen)
Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Jan Leuchter, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2024-06-11
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky oponenta:
Byla topologická struktura tranzistoru PNP a analyzované oblasti stejné jako v případě NPN tranzistoru?
Jak vypadá struktura výkonových tranzistorů NPN a PNP?
Na obrázku 8.4 je výstup EBIC v barevné škále a na obrázku 8.18 je pouze v odstínech šedé barvy. Proč?
Je výstup na obrázku 8.19 také z metody EBIC?
Šla by škála šedých odstínů upravit tak, aby byly rozeznatelné defekty solárních článků?
Otázky komise:
Fotografie EBIC je změřeného tranzistoru ?
Co bylo cíle pozorování pomocí metody EBIC ?
Popište přípravek pro experimentální část.
Jaký má přípravek přechodový odpor ?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení