but.committee	prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) doc. Ing Arnošt Bajer, CSc. (člen) Ing. Ondřej Frantík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Jan Maschke, CSc. (člen) prof. Ing. Alena Pietriková, CSc. (člen) Ing. Karel Dušek, Ph.D. (člen)	cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Elektrotechnika a komunikační technologie	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Šandera, Josef	cs
dc.contributor.author	W. F. Yahya, Doaa	cs
dc.contributor.referee	Kolařík, Vladimír	cs
dc.contributor.referee	Štencl,, Jiří	cs
dc.date.created	2015	cs
dc.description.abstract	Tenké vrstvy mají velké uplatnění v mnoha odvětvích techniky a v současné době můžeme konstatovat, že je najdeme ve všech moderních technologiích. Tenké vrstvy je možné vytvářet dvěma způsoby, a to chemickou nebo fyzikální cestou. Tato práce se zaměřuje na druhý uvedený způsob, přesněji tedy na technologii napařování tenkých vrstev ve vakuu. Práce se zaměřuje na principy procesu, jevy během napařování a po něm. V práci jsou uvedeny originální měření a technologické postupy. Experimenty objasňují některé z jevů, které se odehrávají na tenkých vrstvách vytvořených již zmíněnou technologií. Práce pomáhá lépe pochopit pochody během vytváření tenké vrstvy a vlastnosti, které ovlivňují kvalitu a stabilitu tenkých vrstev. V závěru jsou popsány výsledky experimentů a jsou zde také shrnuty nové poznatky v oblasti nanášení tenkých vrstev pomocí napařování ve vakuu.	cs
dc.description.abstract	Thin layers are widely used in many fields of technology and today we can say that they are found in all modern technologies. Thin layers can be created in two ways, namely by chemical or physical means. This work focuses on the latter method, more particularly a technology of thermal evaporation of thin layers in a vacuum. The work focuses on the process principles during and after the evaporation. Much of the work focuses on the development and design of experiments. These experiments illustrate some of the phenomena that take place on thin films produced by the aforementioned technology. Work helps to better understand processes during formation of thin layers and properties that influence the quality and stability of thin films. In conclusion we describe results of experiments and new developments in the field of thin films deposition using evaporation under vakuum are summarized.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	W. F. YAHYA, D. Mechanické a elektrické vlastnosti tenkých kovových vrstev nanášených vakuovým napařováním [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2015.	cs
dc.identifier.other	91937	cs
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/11012/51837
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Vakuové napařování	cs
dc.subject	kovová vrstva	cs
dc.subject	teplota	cs
dc.subject	výparník	cs
dc.subject	napařovaný materiál	cs
dc.subject	recipient	cs
dc.subject	tlak	cs
dc.subject	teplotní stabilita	cs
dc.subject	elektrická vodivost	cs
dc.subject	vývěva	cs
dc.subject	parylén	cs
dc.subject	teplotní cyklovaní.	cs
dc.subject	Vacuum evaporation	en
dc.subject	layer	en
dc.subject	temperature	en
dc.subject	vaporizer	en
dc.subject	evaporation material	en
dc.subject	recipient	en
dc.subject	pressure	en
dc.subject	temperature stability	en
dc.subject	electrical conductivity	en
dc.subject	air-pump	en
dc.subject	parylene	en
dc.subject	temperature cycling.	en
dc.title	Mechanické a elektrické vlastnosti tenkých kovových vrstev nanášených vakuovým napařováním	cs
dc.title.alternative	Mechanical and Electrical Properties of Thin Metal Films Deposited by Vacuum Evaporation	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.dateAccepted	2015-12-10	cs
dcterms.modified	2015-12-18-09:10:50	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií	cs
sync.item.dbid	91937	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2025.03.27 11:56:43	en
sync.item.modts	2025.01.15 20:36:40	en
thesis.discipline	Mikroelektronika a technologie	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Mechanické a elektrické vlastnosti tenkých kovových vrstev nanášených vakuovým napařováním

Files

Original bundle

Collections