Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.defence | cs | |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Voborný, Stanislav | cs |
| dc.contributor.author | Kejík, Lukáš | cs |
| dc.contributor.referee | Bábor, Petr | cs |
| dc.date.accessioned | 2018-10-21T17:11:36Z | |
| dc.date.available | 2018-10-21T17:11:36Z | |
| dc.date.created | 2013 | cs |
| dc.description.abstract | Bakalářská práce se zabývá možnostmi neutralizace povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem. V práci byly navrženy tři varianty neutralizačních paletek. Všechny varianty byly otestovány a byly provedeny zkušební depozice GaN na nevodivé substráty. Vzorky byly poté analyzovány pomocí XPS. V bakalářské práci jsou diskutovány možnosti aplikace jednotlivých paletek. | cs |
| dc.description.abstract | Bachelor's thesis deals with possibilities of substrate neutralisation during ion beam deposition. There were designed and tested three sample holders with integrated neutralization filament. Depositions of gallium nitride were done on samples with all configurations, then analyzed by XPS. In this thesis the suitability of all configuration was evaluated and discussed. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | KEJÍK, L. Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2013. | cs |
| dc.identifier.other | 64877 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/27903 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Neutralizace substrátu | cs |
| dc.subject | držák vzorku | cs |
| dc.subject | depozice iontovým svazkem | cs |
| dc.subject | nitrid gallitý | cs |
| dc.subject | RTG spektroskopie | cs |
| dc.subject | safír. | cs |
| dc.subject | Substrate neutralization | en |
| dc.subject | sample holder | en |
| dc.subject | ion beam deposition | en |
| dc.subject | gallium nitride | en |
| dc.subject | X-ray spectroscopy | en |
| dc.subject | sapphire. | en |
| dc.title | Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem | cs |
| dc.title.alternative | Charge neutralization of the substrate surface during direct ion beam deposition | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2013-06-19 | cs |
| dcterms.modified | 2013-06-24-12:06:45 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 64877 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2021.11.12 16:08:50 | en |
| sync.item.modts | 2021.11.12 15:10:00 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |