Neutralizace náboje na povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem

Abstract

Bakalářská práce se zabývá možnostmi neutralizace povrchu nevodivých substrátů při depozici iontovým svazkem. V práci byly navrženy tři varianty neutralizačních paletek. Všechny varianty byly otestovány a byly provedeny zkušební depozice GaN na nevodivé substráty. Vzorky byly poté analyzovány pomocí XPS. V bakalářské práci jsou diskutovány možnosti aplikace jednotlivých paletek.Bachelor's thesis deals with possibilities of substrate neutralisation during ion beam deposition. There were designed and tested three sample holders with integrated neutralization filament. Depositions of gallium nitride were done on samples with all configurations, then analyzed by XPS. In this thesis the suitability of all configuration was evaluated and discussed.