but.committee	prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (předseda) doc. Ing. Ivan Richter, Dr. (člen) Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D. (člen) Ing. Petr Bouchal, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)	cs
but.defence	Doktorand na základě zkušeností s přechozími generacemi zařízení navrhl, zkoumal a podrobně vyhodnotil vlastnosti nové sestavy skaterometru. Tím splnil cíle práce. Výsledek práce má zásadní význam pro měření drsnosti povrchů těles otpickou metodou. Práce navazuje a posiluje v před problematiku řešenou v laboratoři kohenerání optiky ve spolupráci v Přírodovědeckou fakultkou MUNI a ČMI v Brně.	cs
but.jazyk	čeština (Czech)
but.program	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
but.result	práce byla úspěšně obhájena	cs
dc.contributor.advisor	Ohlídal, Miloslav	cs
dc.contributor.author	Šustek, Štěpán	cs
dc.contributor.referee	Valtr,, Miroslav	cs
dc.contributor.referee	Richter, Ivan	cs
dc.date.accessioned	2024-12-10T14:03:55Z
dc.date.available	2024-12-10T14:03:55Z
dc.date.created		cs
dc.description.abstract	Elektromagnetické záření dopadající na povrch pevného tělesa je z části zrcadlově odraženo podle principů geometrické optiky a z části rozptýleno do jiných směrů (tzv. difúzní složka) vlivem drsností povrchu. Z charakteristiky rozptýlené části lze následně určit topografie povrchu na kterém k difúzi dochází. Pro velmi málo drsné povrchy v řádu nanometrů, jaké jsou očekávány u tenkých vrstev, je zapotřebí velmi citlivé a přesné měření difúzní složky. Měřící systém by měl vykazovat vysoký dynamický rozsah a dostatečné úhlové rozlišení. K tomuto účelu byl navržen, realizován a také upravován skaterometr goniometrického typu. Přístroj byl následně testován a výsledky byly porovnány s nezávislým měřením na jiném pracovišti. Diskutována je také možnost rozšířeného využití přístroje a případné úpravy.	cs
dc.description.abstract	Electromagnetic radiation incident on the surface of a solid body is partly reflected specularly according to the principles of geometrical optics and partly scattered into other directions (the so-called diffuse component) due to surface roughness. From the characteristics of the scattered part, the topography of the surface where diffusion occurs can be determined. For surfaces with very low roughness on the order of nanometers, as expected in thin films, highly sensitive and precise measurement of the diffuse component is required. The measuring system should exhibit a high dynamic range and sufficient angular resolution. For this purpose, a goniometric-type scatterometer was designed, implemented, and also modified. The instrument was subsequently tested, and the results were compared with independent measurements conducted at another facility. The possibility of extended use of the instrument and potential modifications are also discussed.	en
dc.description.mark	P	cs
dc.identifier.citation	ŠUSTEK, Š. Experimentální studium rozptylu světla na tenkých vrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. .	cs
dc.identifier.other	163368	cs
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/11012/249837
dc.language.iso	cs	cs
dc.publisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství	cs
dc.rights	Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení	cs
dc.subject	Skaterometr	cs
dc.subject	rozptyl záření na površích pevných látek	cs
dc.subject	optická charakterizace	cs
dc.subject	tenké vrstvy.	cs
dc.subject	Scatterometer	en
dc.subject	radiation scattering on the surfaces of solid substances	en
dc.subject	optical characterization	en
dc.subject	thin films.	en
dc.title	Experimentální studium rozptylu světla na tenkých vrstvách	cs
dc.title.alternative	Experimental study of light scattering from thin films	en
dc.type	Text	cs
dc.type.driver	doctoralThesis	en
dc.type.evskp	dizertační práce	cs
dcterms.modified	2024-10-25-13:54:33	cs
eprints.affiliatedInstitution.faculty	Fakulta strojního inženýrství	cs
sync.item.dbid	163368	en
sync.item.dbtype	ZP	en
sync.item.insts	2024.12.10 15:03:55	en
sync.item.modts	2024.10.26 05:31:36	en
thesis.discipline	Fyzikální a materiálové inženýrství	cs
thesis.grantor	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství	cs
thesis.level	Doktorský	cs
thesis.name	Ph.D.	cs

Experimentální studium rozptylu světla na tenkých vrstvách

Files

Original bundle

Collections