Experimentální studium rozptylu světla na tenkých vrstvách
Loading...
Date
Authors
Šustek, Štěpán
ORCID
Advisor
Referee
Mark
P
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Elektromagnetické záření dopadající na povrch pevného tělesa je z části zrcadlově odraženo podle principů geometrické optiky a z části rozptýleno do jiných směrů (tzv. difúzní složka) vlivem drsností povrchu. Z charakteristiky rozptýlené části lze následně určit topografie povrchu na kterém k difúzi dochází. Pro velmi málo drsné povrchy v řádu nanometrů, jaké jsou očekávány u tenkých vrstev, je zapotřebí velmi citlivé a přesné měření difúzní složky. Měřící systém by měl vykazovat vysoký dynamický rozsah a dostatečné úhlové rozlišení. K tomuto účelu byl navržen, realizován a také upravován skaterometr goniometrického typu. Přístroj byl následně testován a výsledky byly porovnány s nezávislým měřením na jiném pracovišti. Diskutována je také možnost rozšířeného využití přístroje a případné úpravy.
Electromagnetic radiation incident on the surface of a solid body is partly reflected specularly according to the principles of geometrical optics and partly scattered into other directions (the so-called diffuse component) due to surface roughness. From the characteristics of the scattered part, the topography of the surface where diffusion occurs can be determined. For surfaces with very low roughness on the order of nanometers, as expected in thin films, highly sensitive and precise measurement of the diffuse component is required. The measuring system should exhibit a high dynamic range and sufficient angular resolution. For this purpose, a goniometric-type scatterometer was designed, implemented, and also modified. The instrument was subsequently tested, and the results were compared with independent measurements conducted at another facility. The possibility of extended use of the instrument and potential modifications are also discussed.
Electromagnetic radiation incident on the surface of a solid body is partly reflected specularly according to the principles of geometrical optics and partly scattered into other directions (the so-called diffuse component) due to surface roughness. From the characteristics of the scattered part, the topography of the surface where diffusion occurs can be determined. For surfaces with very low roughness on the order of nanometers, as expected in thin films, highly sensitive and precise measurement of the diffuse component is required. The measuring system should exhibit a high dynamic range and sufficient angular resolution. For this purpose, a goniometric-type scatterometer was designed, implemented, and also modified. The instrument was subsequently tested, and the results were compared with independent measurements conducted at another facility. The possibility of extended use of the instrument and potential modifications are also discussed.
Description
Citation
ŠUSTEK, Š. Experimentální studium rozptylu světla na tenkých vrstvách [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. .
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální a materiálové inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (předseda)
doc. Ing. Ivan Richter, Dr. (člen)
Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D. (člen)
Ing. Petr Bouchal, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
Defence
Doktorand na základě zkušeností s přechozími generacemi zařízení navrhl, zkoumal a podrobně vyhodnotil vlastnosti nové sestavy skaterometru. Tím splnil cíle práce. Výsledek práce má zásadní význam pro měření drsnosti povrchů těles otpickou metodou. Práce navazuje a posiluje v před problematiku řešenou v laboratoři kohenerání optiky ve spolupráci v Přírodovědeckou fakultkou MUNI a ČMI v Brně.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení