Řízení depozičního procesu pomocí počítače
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
but.defence | cs | |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Urbánek, Michal | cs |
dc.contributor.author | Pavera, Michal | cs |
dc.contributor.referee | Voborný, Stanislav | cs |
dc.date.accessioned | 2018-11-08T14:58:34Z | |
dc.date.available | 2018-11-08T14:58:34Z | |
dc.date.created | 2009 | cs |
dc.description.abstract | Bakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy obsahuje výkresovou dokumentaci úpravy manipulátorů držáku terče a ovládání clony, pro možnost jejich ovládání pomocí krokových motorů. Dalším úkolem je návrh elektrického a programového řízení primárního a sekundárního iontového zdroje. Je zde tedy popsáno řešení propojení celé aparatury s počítačem pomocí AD/DA převodníků a jejich vhodné naprogramování. V závěru jsou diskutovány rozdíly mezi manuálním a automatizovaným ovládání a také jejich klady a zápory. | cs |
dc.description.abstract | This bachaloers thesis deals with automation of the deposition process of the ultrathin layers by IBAD method. One of the tasks is to design motorized target and shutter manipulator. The thesis therefore contain drawings of these manipulators. Which enable their control by stepper motors. Second task is to design of electronics and program control of primary and secondary ion source. In this part is described connection of the system with the computer using AD/DA converters and the appropriate programming. Last part of the thesis deals with differences between automated and manual control of the system, their advantages and disadvantages. | en |
dc.description.mark | A | cs |
dc.identifier.citation | PAVERA, M. Řízení depozičního procesu pomocí počítače [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009. | cs |
dc.identifier.other | 20565 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/9389 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | IBAD | cs |
dc.subject | IBS | cs |
dc.subject | iontové naprašování | cs |
dc.subject | iontový zdroj | cs |
dc.subject | krokový motor | cs |
dc.subject | AD/DA převodník | cs |
dc.subject | vrstva | cs |
dc.subject | depozice tenkých vrstev | cs |
dc.subject | IBAD | en |
dc.subject | IBS | en |
dc.subject | ion source | en |
dc.subject | step motor | en |
dc.subject | AD/DA converter | en |
dc.subject | layer | en |
dc.subject | thin-film deposition | en |
dc.title | Řízení depozičního procesu pomocí počítače | cs |
dc.title.alternative | Computer control of the deposition process | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | bachelorThesis | en |
dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2009-06-18 | cs |
dcterms.modified | 2009-07-15-11:45:16 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 20565 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2021.11.12 17:09:00 | en |
sync.item.modts | 2021.11.12 16:30:24 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Bakalářský | cs |
thesis.name | Bc. | cs |
Files
Original bundle
1 - 3 of 3
Loading...
- Name:
- final-thesis.pdf
- Size:
- 1.12 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- final-thesis.pdf
Loading...
- Name:
- appendix-1.pdf
- Size:
- 327.89 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- appendix-1.pdf
Loading...
- Name:
- review_20565.html
- Size:
- 10.13 KB
- Format:
- Hypertext Markup Language
- Description:
- review_20565.html