Řízení depozičního procesu pomocí počítače

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorUrbánek, Michalcs
dc.contributor.authorPavera, Michalcs
dc.contributor.refereeVoborný, Stanislavcs
dc.date.accessioned2018-11-08T14:58:34Z
dc.date.available2018-11-08T14:58:34Z
dc.date.created2009cs
dc.description.abstractBakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy obsahuje výkresovou dokumentaci úpravy manipulátorů držáku terče a ovládání clony, pro možnost jejich ovládání pomocí krokových motorů. Dalším úkolem je návrh elektrického a programového řízení primárního a sekundárního iontového zdroje. Je zde tedy popsáno řešení propojení celé aparatury s počítačem pomocí AD/DA převodníků a jejich vhodné naprogramování. V závěru jsou diskutovány rozdíly mezi manuálním a automatizovaným ovládání a také jejich klady a zápory.cs
dc.description.abstractThis bachaloers thesis deals with automation of the deposition process of the ultrathin layers by IBAD method. One of the tasks is to design motorized target and shutter manipulator. The thesis therefore contain drawings of these manipulators. Which enable their control by stepper motors. Second task is to design of electronics and program control of primary and secondary ion source. In this part is described connection of the system with the computer using AD/DA converters and the appropriate programming. Last part of the thesis deals with differences between automated and manual control of the system, their advantages and disadvantages.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationPAVERA, M. Řízení depozičního procesu pomocí počítače [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.cs
dc.identifier.other20565cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/9389
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectIBADcs
dc.subjectIBScs
dc.subjectiontové naprašovánícs
dc.subjectiontový zdrojcs
dc.subjectkrokový motorcs
dc.subjectAD/DA převodníkcs
dc.subjectvrstvacs
dc.subjectdepozice tenkých vrstevcs
dc.subjectIBADen
dc.subjectIBSen
dc.subjection sourceen
dc.subjectstep motoren
dc.subjectAD/DA converteren
dc.subjectlayeren
dc.subjectthin-film depositionen
dc.titleŘízení depozičního procesu pomocí počítačecs
dc.title.alternativeComputer control of the deposition processen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2009-06-18cs
dcterms.modified2009-07-15-11:45:16cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid20565en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 17:09:00en
sync.item.modts2021.11.12 16:30:24en
thesis.disciplineFyzikální inženýrstvícs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.12 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
327.89 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_20565.html
Size:
10.13 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_20565.html
Collections