Řízení depozičního procesu pomocí počítače
Loading...
Date
Authors
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Bakalářská práce se zabývá problematikou spojenou s návrhem automatizace depozice ultratenkých vrstev metodou IBAD. Jedním z úkolů bakalářské práce je návrh a realizace ovládání držáku substrátu a terče. Tato práce tedy obsahuje výkresovou dokumentaci úpravy manipulátorů držáku terče a ovládání clony, pro možnost jejich ovládání pomocí krokových motorů. Dalším úkolem je návrh elektrického a programového řízení primárního a sekundárního iontového zdroje. Je zde tedy popsáno řešení propojení celé aparatury s počítačem pomocí AD/DA převodníků a jejich vhodné naprogramování. V závěru jsou diskutovány rozdíly mezi manuálním a automatizovaným ovládání a také jejich klady a zápory.
This bachaloers thesis deals with automation of the deposition process of the ultrathin layers by IBAD method. One of the tasks is to design motorized target and shutter manipulator. The thesis therefore contain drawings of these manipulators. Which enable their control by stepper motors. Second task is to design of electronics and program control of primary and secondary ion source. In this part is described connection of the system with the computer using AD/DA converters and the appropriate programming. Last part of the thesis deals with differences between automated and manual control of the system, their advantages and disadvantages.
This bachaloers thesis deals with automation of the deposition process of the ultrathin layers by IBAD method. One of the tasks is to design motorized target and shutter manipulator. The thesis therefore contain drawings of these manipulators. Which enable their control by stepper motors. Second task is to design of electronics and program control of primary and secondary ion source. In this part is described connection of the system with the computer using AD/DA converters and the appropriate programming. Last part of the thesis deals with differences between automated and manual control of the system, their advantages and disadvantages.
Description
Citation
PAVERA, M. Řízení depozičního procesu pomocí počítače [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2009-06-18
Defence
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení