Experimentální měření dielektrických funkcí pomocí elipsometrie

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Vliv depolarizace na vyhodnocení spekter. Projevy elektronových přechodů v dieletrické funkci. Prostorové rozlišení mikroskopické elipsometrie. Student na otázky odpověděl.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorViewegh, Petrcs
dc.contributor.authorSlovák, Radimcs
dc.contributor.refereeKvapil, Michalcs
dc.date.created2024cs
dc.description.abstractTato práce se zabývá širokým využitím charakterizační metody spektroskopické elipsometrie (SE). Je uvedeno měření dielektrické funkce termického oxidu SiO2 a jeho tloušťky na křemíkovém substrátu. Dále je prezentována rozličná dielektrická funkce tenké zlaté vrstvy, její ryze kovové a dielektrické vlastnosti. Metoda SE je použita pro determinaci časově proměnných vrstev v podobě rychlosti růstu oxidů mědi. Dále je změřena dielektrická funkce fotoluminiscenčního materiálu CsPbBr3 na níž je prezentováno nalezení kvantových přechodů v daném materiálu. V neposlední řadě je vytvořen program v pythonu umožňující kompletní analýzu elipsometrických dat získaných obrazovou mikro elipsometrií na fázově proměnném Sb2S3.cs
dc.description.abstractThis work deals with the broad application of the spectral ellipsometry (SE) characterization method. It includes measurements of the dielectric function of thermal SiO2 and its thickness on a silicon substrate. Additionally, it presents diverse dielectric function of thin gold layer, highlighting its metallic and dielectric properties. The SE method is utilized for determining time-variable layers such as the growth rate of copper oxides. Furthermore, the dielectric function of the photoluminescent material CsPbBr3 is measured to identify quantum transitions within this perovskite material. Finally, a program in python is developed, enabling comprehensive analysis of ellipsometric data obtained via imaging microellipsometry on phase-change Sb2S3.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationSLOVÁK, R. Experimentální měření dielektrických funkcí pomocí elipsometrie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.cs
dc.identifier.other154990cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/248248
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectSpektroskopická elipsometriecs
dc.subjectdielektrická funkcecs
dc.subjectzlatá vrstvacs
dc.subjectoxid mědics
dc.subjectfotoluminiscenční materiálcs
dc.subjectCsPbBr3cs
dc.subjectzobrazovací mikroelipsometriecs
dc.subjectSb2S3.cs
dc.subjectSpectroscopic ellipsometryen
dc.subjectdielectric functionen
dc.subjectgold layeren
dc.subjectcopper oxideen
dc.subjectphotoluminescent materialen
dc.subjectCsPbBr3en
dc.subjectimaging microellipsometryen
dc.subjectSb2S3.en
dc.titleExperimentální měření dielektrických funkcí pomocí elipsometriecs
dc.title.alternativeExperimental measurement of dielectric functions using ellipsometryen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2024-06-14cs
dcterms.modified2024-06-18-08:45:12cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid154990en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 08:20:43en
sync.item.modts2025.01.17 09:52:29en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
6.32 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_154990.html
Size:
11.35 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_154990.html
Collections