Experimentální měření dielektrických funkcí pomocí elipsometrie
Loading...
Date
Authors
Slovák, Radim
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Tato práce se zabývá širokým využitím charakterizační metody spektroskopické elipsometrie (SE). Je uvedeno měření dielektrické funkce termického oxidu SiO2 a jeho tloušťky na křemíkovém substrátu. Dále je prezentována rozličná dielektrická funkce tenké zlaté vrstvy, její ryze kovové a dielektrické vlastnosti. Metoda SE je použita pro determinaci časově proměnných vrstev v podobě rychlosti růstu oxidů mědi. Dále je změřena dielektrická funkce fotoluminiscenčního materiálu CsPbBr3 na níž je prezentováno nalezení kvantových přechodů v daném materiálu. V neposlední řadě je vytvořen program v pythonu umožňující kompletní analýzu elipsometrických dat získaných obrazovou mikro elipsometrií na fázově proměnném Sb2S3.
This work deals with the broad application of the spectral ellipsometry (SE) characterization method. It includes measurements of the dielectric function of thermal SiO2 and its thickness on a silicon substrate. Additionally, it presents diverse dielectric function of thin gold layer, highlighting its metallic and dielectric properties. The SE method is utilized for determining time-variable layers such as the growth rate of copper oxides. Furthermore, the dielectric function of the photoluminescent material CsPbBr3 is measured to identify quantum transitions within this perovskite material. Finally, a program in python is developed, enabling comprehensive analysis of ellipsometric data obtained via imaging microellipsometry on phase-change Sb2S3.
This work deals with the broad application of the spectral ellipsometry (SE) characterization method. It includes measurements of the dielectric function of thermal SiO2 and its thickness on a silicon substrate. Additionally, it presents diverse dielectric function of thin gold layer, highlighting its metallic and dielectric properties. The SE method is utilized for determining time-variable layers such as the growth rate of copper oxides. Furthermore, the dielectric function of the photoluminescent material CsPbBr3 is measured to identify quantum transitions within this perovskite material. Finally, a program in python is developed, enabling comprehensive analysis of ellipsometric data obtained via imaging microellipsometry on phase-change Sb2S3.
Description
Keywords
Citation
SLOVÁK, R. Experimentální měření dielektrických funkcí pomocí elipsometrie [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
bez specializace
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen)
prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen)
doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
Date of acceptance
2024-06-14
Defence
Po otázkách oponenta bylo dále diskutováno:
Vliv depolarizace na vyhodnocení spekter.
Projevy elektronových přechodů v dieletrické funkci.
Prostorové rozlišení mikroskopické elipsometrie.
Student na otázky odpověděl.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení