Lokalizovaná oxidace vanadových vrstev doplněná in-situ analýzou

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen) doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (místopředseda)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Princip metody IBAD. Důvod vzniku struktury bez přítomnosti kyslíku. Důvod změny rezonanční frekvence sondy při přítomnosti plynu. Student na otázky odpověděl.cs
but.jazykangličtina (English)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorLigmajer, Filipen
dc.contributor.authorSpousta, Jiříen
dc.contributor.refereeNeuman, Janen
dc.date.created2024cs
dc.description.abstractV předložené diplomové práci se zabýváme popisem a aplikací námi vyvinuté metody lokální oxidace vanadových vrstev v komoře elektronového mikroskopu. K tomuto účelu používáme duté optické vlákno, které na zvolené místo na povrchu vzorku může přivést jak pracovní plyn (O\2), tak i intenzivní laserové světlo ($\lambda=532$\,nm). Po několika iteracích hledání nejvhodnější konfigurace lokálního ovlivňování povrchu vanadu (jednovláknová, případně dvouvláknová verze metody) byla jako nejvhodnější vyhodnocena varianta, ve které bylo planární duté optické vlákno (připevněné k ladičce AFM mikroskopu LiteScope od firmy NenoVision) definovaným způsobem přiblíženo k povrchu vanadové vrstvy. Blízkost povrchu a dostatečný tok pracovního plynu kapilárami dutého vlákna vedly k tomu, že se nám vanadovou vrstvu úspěšně podařilo zoxidovat. V práci jsou rovněž popsány výsledky měření Ramanovy spektroskopie takto lokálně ovlivněných vanadových vrstev, které ukázaly, že zvolená metoda, kterou jsme objevili, byla úspěšná a otevírá nové možnosti přípravy tohoto zajímavého materiálu. V práci jsou rovněž uvedeny a popsány nezbytné konstrukční úpravy stávající experimentální sestavy pro lokální oxidaci (multifunkčního systému vstřikování plynu) a popis přípravy tenkých vanadových vrstev metodou IBADen
dc.description.abstractThis diploma thesis deals with development and application of a unique method of locally oxidizing vanadium-based thin films inside the vacuum chamber of a scanning electron microscope. For this purpose, we use photonic crystal fiber to bring both O\2 gas and intense laser light ($\lambda=532$\,nm). After several iterations of finding the optimal configuration for the local modification on the vanadium-based sample surface (single-fiber or dual-fiber version of the method), the configuration deemed most suitable involved bringing a planar photonic crystal fiber, attached to the LiteScope AFM microscope tuning fork from NenoVision, close to the sample surface in a precise manner. Close sample surface-AFM probe proximity and sufficient flow of O\2 molecules lead to a successful local modification of oxidation state in the thin vanadium-based film. The thesis also describes results obtained by measuring Raman fingerpints of locally modified (oxidized) regions, that prove our novel approach of local oxidation successful and open new fabrication procedures of vanadium oxides. The work also contains descriptions of the necessary modifications made to the SEM to accommodate the experimental setup for local oxidation (multifunctional gas injection system), along with details on the fabrication process of thin vanadium-based films by IBAD.cs
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationSPOUSTA, J. Lokalizovaná oxidace vanadových vrstev doplněná in-situ analýzou [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.cs
dc.identifier.other158268cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/247323
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectoxid vanadičitýen
dc.subjectnaprašování iontovým svazkemen
dc.subjectlokální oxidaceen
dc.subjectAFMen
dc.subjectSEMen
dc.subjectRamanovská spektroskopieen
dc.subjectvanadium dioxidecs
dc.subjection beam assisted depositioncs
dc.subjectlocal oxidationcs
dc.subjectAFMcs
dc.subjectSEMcs
dc.subjectRaman spectroscopycs
dc.titleLokalizovaná oxidace vanadových vrstev doplněná in-situ analýzouen
dc.title.alternativeLocalized oxidation of vanadium films accompanied by in-situ analysiscs
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2024-06-11cs
dcterms.modified2024-06-11-15:54:33cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid158268en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 10:45:40en
sync.item.modts2025.01.15 13:12:53en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.1 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_158268.html
Size:
11.61 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_158268.html
Collections