Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM

Simple item page
but.committeeprof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda) doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda) Ing. František Kalouda, CSc., MBA (člen) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen) Ing. Jiří Špinka (člen)cs
but.defenceDiplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: Jaký kontrast pro práci s polovodiči doporučujete?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorJirák, Josefcs
dc.contributor.authorJabůrek, Ladislavcs
dc.contributor.refereeŠpinka, Jiřícs
dc.date.created2011cs
dc.description.abstractTato diplomová práce se zabývá problematikou elektronového rastrovacího mikroskopu pracujícího při vyšším tlaku v komoře vzorku. Hlavním cílem práce bylo sledování napěťového kontrastu na přechodu PN výkonového transistoru za vhodných pracovních podmínek za pomocí environmentální rastrovacího mikroskopu. Pozorování vzorku bylo umožněno pomocí scintilačního detektoru určeného pro pozorování ve vysokém tlaku.cs
dc.description.abstractThis thesis deals with scanning electron microscope working at higher pressure in the specimen chamber. The main goal was to study the voltage contrast on the PN junction of the transistor under suitable working conditions for using environmental scanning microscope. The observation of sample was enabled by a scintillation detector designed for observation of high pressure.en
dc.description.markCcs
dc.identifier.citationJABŮREK, L. Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.cs
dc.identifier.other41103cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/8170
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskop (SEM)cs
dc.subjectEnvironmentální rastrovací elektronová mikroskop (ESEMcs
dc.subjectVP SEM)cs
dc.subjectscintilační detektor pro vyšší tlakcs
dc.subjectsekundární elektronycs
dc.subjectnapěťový kontrast.cs
dc.subjectScanning electron mikroscope (SEM)en
dc.subjectenvitonmental scanning electron microscope (ESEMen
dc.subjectVP SEM)en
dc.subjectscintillation detector for higher pressureen
dc.subjectsecondary electronen
dc.subjectvoltage contrasten
dc.titleMetoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEMcs
dc.title.alternativeVoltage contrast method at detection of secondary electrons by scintillation detector in VP SEMen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2011-06-07cs
dcterms.modified2024-05-17-12:53:03cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid41103en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 13:00:56en
sync.item.modts2025.01.17 12:06:17en
thesis.disciplineElektrotechnická výroba a managementcs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.65 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
3.5 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_41103.html
Size:
7.86 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_41103.html
Download
Collections
2011