Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM
Loading...
Date
Authors
Jabůrek, Ladislav
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá problematikou elektronového rastrovacího mikroskopu pracujícího při vyšším tlaku v komoře vzorku. Hlavním cílem práce bylo sledování napěťového kontrastu na přechodu PN výkonového transistoru za vhodných pracovních podmínek za pomocí environmentální rastrovacího mikroskopu. Pozorování vzorku bylo umožněno pomocí scintilačního detektoru určeného pro pozorování ve vysokém tlaku.
This thesis deals with scanning electron microscope working at higher pressure in the specimen chamber. The main goal was to study the voltage contrast on the PN junction of the transistor under suitable working conditions for using environmental scanning microscope. The observation of sample was enabled by a scintillation detector designed for observation of high pressure.
This thesis deals with scanning electron microscope working at higher pressure in the specimen chamber. The main goal was to study the voltage contrast on the PN junction of the transistor under suitable working conditions for using environmental scanning microscope. The observation of sample was enabled by a scintillation detector designed for observation of high pressure.
Description
Keywords
Rastrovací elektronový mikroskop (SEM) , Environmentální rastrovací elektronová mikroskop (ESEM , VP SEM) , scintilační detektor pro vyšší tlak , sekundární elektrony , napěťový kontrast. , Scanning electron mikroscope (SEM) , envitonmental scanning electron microscope (ESEM , VP SEM) , scintillation detector for higher pressure , secondary electron , voltage contrast
Citation
JABŮREK, L. Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Vondrák, DrSc. (předseda)
doc. Ing. Jiří Vaněk, Ph.D. (místopředseda)
Ing. František Kalouda, CSc., MBA (člen)
doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (člen)
Ing. Jiří Špinka (člen)
Date of acceptance
2011-06-07
Defence
Diplomant seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své diplomové práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Jaký kontrast pro práci s polovodiči doporučujete?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena