JABŮREK, L. Metoda napěťového kontrastu při detekci sekundárních elektronů scintilačním detektorem ve VP SEM [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2011.

Posudek vedoucího

Jirák, Josef

Diplomant se v práci zabýval problematikou hodnocení napěťového kontrastu na přechodu emitor báze výkonového tranzistoru při jeho pozorování scintilačním detektorem sekundárních elektronů při vyšších tlacích v komoře vzorku rastrovacího elektronového mikroskopu. Cílem práce bylo experimentálně stanovit vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrastu scintilačním detektorem sekundárních elektronů. Teoretická část práce je v souladu s orientací práce zaměřena na problematiku vzniku sekundárních a zpětně odražených elektronů při dopadu primárního svazku elektronů, environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii a detekci signálních elektronů v plynném prostředí. V úvodu experimentální části práce diplomant uvádí popis pracoviště rastrovacího elektronového mikroskopu a použitého vzorku a vymezuje pracovní podmínky, při kterých byly experimenty prováděny. Následně popisuje metodiku hodnocení napěťového kontrastu vyhodnocením střední hodnoty úrovně šedi snímků emitor bázového přechodu tranzistoru s přiloženým napětím v závěrném směru. Výsledky experimentů jsou přehledně uvedeny v grafické podobě v kap. 6. Napěťový kontrast je na obr. 20 až 27 vynesen v závislosti na měnícím se tlaku vodních par v komoře vzorku mikroskopu pro měnící se napětí na elektrodách a clonách detektoru a pro různé pracovní vzdálenosti vzorku. Kapitola obsahuje i vyhodnocení změřených závislostí a jsou zde stanoveny vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrastu scintilačním detektorem sekundárních elektronů při vyšších tlacích v komoře vzorku mikroskopu. Diplomant v průběhu řešení projevoval zájem o řešenou problematiku, byl aktivní, požadavky zadání práce nejenže splnil, ale i překročil experimenty vyhodnocujícími vliv pracovní vzdálenosti na napěťový kontrast. Diplomová práce je přehledně uspořádána do jednotlivých kapitol, výsledky práce jsou jasně formulovány a jsou využitelné pro následné práce s detektorem při jeho optimalizaci pro detekci sekundárních elektronů.

Posudek oponenta

Špinka, Jiří

Předložená diplomová práce se zabývá detekcí signálu sekundárních detektorů v komoře vzorku VP SEM, s jejím využitím pro napěťový kontrast při sledování rozložení elektrického potenciálu na povrchu vzorků, konkrétně zobrazení PN přechodu výkonového tranzistoru..Vychází z dlouholetých zkušeností získaných na UETE v této oblasti a z publikací uvedených na závěr práce. Celá práce je spíše rutinního charakteru a proto obsahuje množství tabulek a obrázků v přílohách. Diplomant prozkoumal vlivy tlaku vodních par v komoře vzorku a vlivy napětí přiložených na jednotlivé elektrody použitého scintilačního detektoru. Celá práce je poněkud stručná, 28 stran teorie a 12 stran vyhodnocení praktické části. Práci doporučuji k obhajobě

eVSKP id 41103