Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot

but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)cs
but.defenceK čemu slouží 6 elektrických kontaktů na držáku vzorku. K jakému výzkumu bude sloužit vámi navržený držák vzorku? Proč je nálevka zásobníku tekutého dusíku zatočena právě o 95 stupňů? Jaým způsobem je izolována nádoba na kapalný dusík?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBábor, Petrcs
dc.contributor.authorAxman, Tomášcs
dc.contributor.refereeZigo,, Jurajcs
dc.date.created2018cs
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ.cs
dc.description.abstractThis diploma thesis deals with the optimization of ultra-high vacuum scanning electron microscope - UHV SEM, which is developed within the Amispec project in cooperation with BUT, Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Science and Tescan Brno, s.r.o. The theoretical part deals with the description of the actual state of the developed equipment and the research of competing systems. The next part describes the optimization of the sample holder and the pallet receptor for studying nanostructures over a wide range of temperatures. Part of the optimization is the sapphire thermal diode development and experimental verification of the functionality of the designed components. This is followed by the verification of the functionality of the whole system for the transport of samples to the UHV area, deposition with effusion cell and in-situ observations.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationAXMAN, T. Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.cs
dc.identifier.other109714cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/83368
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectUHV SEMcs
dc.subjectrastrovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectnosič vzorkucs
dc.subjectsafírcs
dc.subjectreceptor paletekcs
dc.subjectteplotní oddělenícs
dc.subjectzakládací systémcs
dc.subjectUHV SEMen
dc.subjectscanning electron microscopeen
dc.subjectsample holderen
dc.subjectsapphireen
dc.subjectpalette holderen
dc.subjecttemperature separationen
dc.subjectloading systemen
dc.titleOptimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplotcs
dc.title.alternativeOptimization of UHV SEM for nanostructure study in wide temperature rangeen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2018-06-18cs
dcterms.modified2018-06-20-15:32:01cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid109714en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 08:44:06en
sync.item.modts2025.01.15 20:53:34en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Loading...
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
9.39 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Loading...
Thumbnail Image
Name:
review_109714.html
Size:
9.92 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_109714.html
Collections