Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot
Loading...
Date
Authors
Axman, Tomáš
ORCID
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstract
Předkládaná diplomová práce se zabývá optimalizací ultravakuového elektronového mikroskopu – UHV SEM, který je vyvíjen v rámci projektu Amispec ve spolupráci VUT, ÚPT AV ČR a firmy Tescan Brno, s.r.o. Teoretická část se zabývá popisem současného stavu vyvíjeného zařízení a rešerší konkurenčních systémů. Další část popisuje optimalizaci nosiče vzorku a receptoru paletek pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot. Součástí optimalizace je i vývoj safírové tepelné diody a experimentální ověření funkčnosti navržených součástí. Následuje ověření funkčnosti celého zakládacího systému transportu vzorků do oblasti s UHV, depozice pomocí efuzní cely a pozorování in situ.
This diploma thesis deals with the optimization of ultra-high vacuum scanning electron microscope - UHV SEM, which is developed within the Amispec project in cooperation with BUT, Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Science and Tescan Brno, s.r.o. The theoretical part deals with the description of the actual state of the developed equipment and the research of competing systems. The next part describes the optimization of the sample holder and the pallet receptor for studying nanostructures over a wide range of temperatures. Part of the optimization is the sapphire thermal diode development and experimental verification of the functionality of the designed components. This is followed by the verification of the functionality of the whole system for the transport of samples to the UHV area, deposition with effusion cell and in-situ observations.
This diploma thesis deals with the optimization of ultra-high vacuum scanning electron microscope - UHV SEM, which is developed within the Amispec project in cooperation with BUT, Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Science and Tescan Brno, s.r.o. The theoretical part deals with the description of the actual state of the developed equipment and the research of competing systems. The next part describes the optimization of the sample holder and the pallet receptor for studying nanostructures over a wide range of temperatures. Part of the optimization is the sapphire thermal diode development and experimental verification of the functionality of the designed components. This is followed by the verification of the functionality of the whole system for the transport of samples to the UHV area, deposition with effusion cell and in-situ observations.
Description
Citation
AXMAN, T. Optimalizace UHV SEM pro studium nanostruktur v širokém rozsahu teplot [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Fyzikální inženýrství a nanotechnologie
Comittee
prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda)
prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda)
prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen)
prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen)
prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen)
prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)
prof. RNDr. Eduard Schmidt, CSc. (člen)
prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen)
RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)
doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2018-06-18
Defence
K čemu slouží 6 elektrických kontaktů na držáku vzorku.
K jakému výzkumu bude sloužit vámi navržený držák vzorku?
Proč je nálevka zásobníku tekutého dusíku zatočena právě o 95 stupňů?
Jaým způsobem je izolována nádoba na kapalný dusík?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena
Document licence
Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení