Lokální charakterizace elektronických součástek
| but.committee | doc. Ing. Ivan Rampl, CSc. (předseda) doc. Ing. Martin Medvecký, Ph.D. (místopředseda) doc. Ing. Anna Přibilová, Ph.D. (člen) prof. Ing. Jaroslav Koton, Ph.D. (člen) doc. Ing. Petr Číka, Ph.D. (člen) Ing. Milan Šimek, Ph.D. (člen) Ing. Jiří Kouřil (člen) Ing. Ladislav Káňa (člen) | cs |
| but.defence | Jak probíhala kalibrace mikroskopu? | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Tománek, Pavel | cs |
| dc.contributor.author | Müller, Pavel | cs |
| dc.contributor.referee | Škarvada, Pavel | cs |
| dc.date.created | 2010 | cs |
| dc.description.abstract | Vývoj mikro a nano elektroniky a nanooptiky si vyžaduje nové charakterizační techniky k zajištění kvality navrhovaných součástek. Práce popisuje použití skenovacího optického mikroskopu v blízkém poli (SNOM) v rozměrové kontrole a v lokálním vyšetřování různých parametrů. Příklad jeho potenciálu korelace mezi topografií a odrazivostí měřených kondenzátorů je popsána v této práci. | cs |
| dc.description.abstract | The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characterization techniques to ensure higher quality of designed devices. The thesis describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of capacitors is shown. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | MÜLLER, P. Lokální charakterizace elektronických součástek [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2010. | cs |
| dc.identifier.other | 32160 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/5268 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | SNOM | cs |
| dc.subject | NSOM | cs |
| dc.subject | AFM | cs |
| dc.subject | SPM | cs |
| dc.subject | kondenzátor | cs |
| dc.subject | mikroskop | cs |
| dc.subject | evanescentní vlny | cs |
| dc.subject | topografie | cs |
| dc.subject | odrazivost | cs |
| dc.subject | lokální charakterizace | cs |
| dc.subject | SNOM | en |
| dc.subject | NSOM | en |
| dc.subject | AFM | en |
| dc.subject | SPM | en |
| dc.subject | capacitor | en |
| dc.subject | microscope | en |
| dc.subject | evanescent waves | en |
| dc.subject | topography | en |
| dc.subject | reflectivity | en |
| dc.subject | local characterization | en |
| dc.title | Lokální charakterizace elektronických součástek | cs |
| dc.title.alternative | Local characterization of electronic devices | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2010-06-08 | cs |
| dcterms.modified | 2010-07-13-11:45:36 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 32160 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 11:22:44 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 18:45:22 | en |
| thesis.discipline | Telekomunikační a informační technika | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav telekomunikací | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |