Lokální charakterizace elektronických součástek

Abstract

Vývoj mikro a nano elektroniky a nanooptiky si vyžaduje nové charakterizační techniky k zajištění kvality navrhovaných součástek. Práce popisuje použití skenovacího optického mikroskopu v blízkém poli (SNOM) v rozměrové kontrole a v lokálním vyšetřování různých parametrů. Příklad jeho potenciálu korelace mezi topografií a odrazivostí měřených kondenzátorů je popsána v této práci.The development of micro and nanoelectronics and nanophotonics needs novel characterization techniques to ensure higher quality of designed devices. The thesis describes a use of Scanning Near-field Optical Microscopy (SNOM) in dimensional control and in local investigation of diverse physical parameters. As example of its potential, the correlation between object topography and reflection measurement of capacitors is shown.