Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorMach, Jindřichcs
dc.contributor.authorŠikula, Marekcs
dc.contributor.refereeBábor, Petrcs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:13:01Z
dc.date.available2019-11-27T20:13:01Z
dc.date.created2013cs
dc.description.abstractPomocí atomárních zdrojů kyslíku se vyrábí a studují ultratenké oxidové vrstvy, především tzv. high-k vrstvy. Ty jsou základem CMOS tranzistorů a DRAM kondenzátorů. Tato práce zpracovává teorii atomárních svazků kyslíku a způsoby jejich získání. Na základě těchto podkladů je vytvořen konstrukční návrh unikátního typu disociačního atomárního zdroje kyslíku. Návrh byl testován jednoduchými experimenty. Dale je vypracován 3D model zdroje a kompletní výkresová dokumentace.cs
dc.description.abstractUltrathin oxid layers (especially high-k layers) are studied and fabricated by using atomic oxygen sources. These high-k ultrathin layers are integrated into CMOS transistors and DRAM capacitors. In this thesis theory of atomic oxygen beams and ways of theirs creation is summarized. On the basis of the obtained knowledge the engineering design of a unique type of the thermal atomic oxygen source is created. The design was tested by simple experiments. The 3D model and complete engineering drawings are included.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationŠIKULA, M. Návrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomů [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2013.cs
dc.identifier.other64815cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/27962
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectTermální disociacecs
dc.subjecttermální zdrojcs
dc.subjectiontová vodivostcs
dc.subjectatomární kyslíkcs
dc.subjecttermální svazky atomů kyslíkucs
dc.subjectZrO2 keramikycs
dc.subjectThermal dissociationen
dc.subjectthermal sourceen
dc.subjectionic conductivityen
dc.subjectatomic oxygenen
dc.subjectthermal beams of oxygen atomsen
dc.subjectZrO2 caramicsen
dc.titleNávrh nového termálního disociačního zdroje kyslíkových atomůcs
dc.title.alternativeDesign of the new type of thermal atomic source for oxygen atomsen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2013-06-19cs
dcterms.modified2013-06-24-12:06:48cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid64815en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 19:06:43en
sync.item.modts2021.11.12 18:40:18en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.07 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
10.52 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_64815.html
Size:
8.2 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_64815.html
Download
Collections
2013