Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.defence | cs | |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Krátký, Stanislav | cs |
| dc.contributor.author | Brunn, Ondřej | cs |
| dc.contributor.referee | Urbánek,, Michal | cs |
| dc.date.accessioned | 2019-04-03T22:34:47Z | |
| dc.date.available | 2019-04-03T22:34:47Z | |
| dc.date.created | 2017 | cs |
| dc.description.abstract | Tato práce se zabývá tvorbou vyhlazených asymetrických mřížek s užitím elektronové litografie. Popisuje kompletní postup od přípravy struktur v softwaru, následnou expozici elektronovým litografem až po vyvolání a analyzování kvalitativních i kvantitativních charakteristik vytvořených mřížek. Tyto výsledky jsou následně porovnány s analytickým výpočtem a numerickou simulací. | cs |
| dc.description.abstract | This work deals with fabrication of asymmetric blazed gratings by electron beam lithography. It describes the whole process of structures preparing in software, followed by exposure carried out by an electron beam writer, and it finishes by creating and analysing both qualitative and quantitative characteristics of the fabricated gratings. These results are then compared with analytic calculation and numeric simulation. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | BRUNN, O. Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2017. | cs |
| dc.identifier.other | 97004 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/62319 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | ELEKTRONOVÁ LITOGRAFIE | cs |
| dc.subject | DIFRAKČNÍ OPTICKÉ PRVKY | cs |
| dc.subject | ASYMETRICKÁ MŘÍŽKA | cs |
| dc.subject | KOREKCE PROXIMITY EFEKTU. | cs |
| dc.subject | ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY | en |
| dc.subject | DIFFRACTIVE OPTICAL ELEMENTS | en |
| dc.subject | ASYMMETRIC GRATING | en |
| dc.subject | PROXIMITY EFFECT CORRECTION. | en |
| dc.title | Studium asymetrických vyhlazených mřížek vytvořených elektronovou litografií | cs |
| dc.title.alternative | Study of asymmetric blazed gratings created by electron beam lithography | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2017-06-19 | cs |
| dcterms.modified | 2017-06-20-09:57:07 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 97004 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2021.11.12 19:07:28 | en |
| sync.item.modts | 2021.11.12 17:59:56 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |