Eliminace degradačních procesů kovových tenkých vrstev
Loading...
Date
Authors
Danovič, Jakub
Advisor
Referee
Mark
C
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Táto práca sa zaoberá problematikou tenkých vrstiev, ich chovaniu v určitých prostrediach a ochrane týchto vrstiev pred nežiaducimi degradačnými procesmi. Kovové tenké vrstvy vytvárame pomocou špeciálnych metód fyzikálnych alebo chemických za prítomnosti vákua. Nanášanie prebieha na správne očistený substrát z rôzneho materiálu, napríklad sklo keramika či iný kov. Tieto vrstvy degradujú za pôsobenia vlhkosti, tepla či iných vplyvov. Na to aby sa zabránilo degradácii tenkých vrstiev sa používajú ochranné filmy z rôznych materiálov na rôznych bázach.
This work deals with issues of thin films, their behaviour in different enviroments and protection of theese films against unwanted degradation processes. Metal thin films are made by special physical or chemical methods in the presence of vacuum. Deposition is performed on properly cleaned substrate made of different materials, for example glass, ceramics or another metal. Theese films degrades under the influence of moisture, heat and other. There are several types of films on different bases made to prevent thin films against degradation.
This work deals with issues of thin films, their behaviour in different enviroments and protection of theese films against unwanted degradation processes. Metal thin films are made by special physical or chemical methods in the presence of vacuum. Deposition is performed on properly cleaned substrate made of different materials, for example glass, ceramics or another metal. Theese films degrades under the influence of moisture, heat and other. There are several types of films on different bases made to prevent thin films against degradation.
Description
Keywords
Citation
DANOVIČ, J. Eliminace degradačních procesů kovových tenkých vrstev [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2014.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Elektrotechnická výroba a management
Comittee
prof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda)
doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (místopředseda)
Ing. Karel Pospíšil (člen)
Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Luňáček, Ph.D., MBA (člen)
Date of acceptance
2014-06-10
Defence
Proč byl v komoře tlak 10-4 Pa?
Proč udržujete v komoře tlak 1 Pa?
Proč byl Al vložen do teploty 800 °C, souvisí to s normou ČSN, kterou jste použil?
Popište metodu "Voltampérmetrie imobilizovaných částic", jak bylo měření zapojeno?
Co jsou imobilizované částice?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena