Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencecs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorMach, Jindřichcs
dc.contributor.authorŘihák, Radekcs
dc.contributor.refereeVoborný, Stanislavcs
dc.date.accessioned2019-05-17T12:21:25Z
dc.date.available2019-05-17T12:21:25Z
dc.date.created2014cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, druhý tepelné záření. Zbylé části cel jsou plně zaměnitelné.cs
dc.description.abstractThis Bachelor's thesis deals with design and construction of the effusion cell for deposition ultrathin layers of aluminum in ultrahigh vacuum conditions. Two types of effusion were designed. Differences are only in type of heating. The first one exploit energy of accelerated electrons and the second one exploit thermal radiation. Anothe parts of cells are fully interchangeable.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationŘIHÁK, R. Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2014.cs
dc.identifier.other70888cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/33302
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectEfuzní celacs
dc.subjecthliníkcs
dc.subjectatomární svazekcs
dc.subjectultratenké vrstvycs
dc.subjectMBEcs
dc.subjectUHcs
dc.subjectEffusion cellen
dc.subjectaluminumen
dc.subjectatom beamen
dc.subjectultrathin layersen
dc.subjectMBEen
dc.subjectUHVen
dc.titleNávrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Alcs
dc.title.alternativeDesign of an effusion cell for the deposition of Al ultrathin layersen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2014-06-25cs
dcterms.modified2014-06-26-14:01:12cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid70888en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2021.11.12 12:06:54en
sync.item.modts2021.11.12 11:19:58en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
4.09 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
2.32 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_70888.html
Size:
10.35 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_70888.html
Download
Collections
2014