Návrh efuzní cely pro depozici ultratenkých vrstev Al

Abstract

Tato bakalářská práce se zabývá návrhem efuzní cely pro tvorbu ultrathenkých vrstev hliníku v podmínkách ultravysokého vakua. Byly navrhnuty dvě varianty lišící se typem ohřevu. První využívá energie urychlených elektronů, druhý tepelné záření. Zbylé části cel jsou plně zaměnitelné.This Bachelor's thesis deals with design and construction of the effusion cell for deposition ultrathin layers of aluminum in ultrahigh vacuum conditions. Two types of effusion were designed. Differences are only in type of heating. The first one exploit energy of accelerated electrons and the second one exploit thermal radiation. Anothe parts of cells are fully interchangeable.