Selektivní růst kovových materiálů na čistých a oxidovaných substrátech.
| but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) doc. RNDr. Josef Kuběna, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Strojní inženýrství | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Čechal, Jan | cs |
| dc.contributor.author | Koňáková, Kateřina | cs |
| dc.contributor.referee | Cháb, Vladimír | cs |
| dc.date.created | 2008 | cs |
| dc.description.abstract | Diplomová práce pojednává o studiu morfologie tenké vrstvy kobaltu na čistém Si(111) a na Si(111) s tenkou vrstvou oxidu křemičitého pomocí metod AFM a XPS. Je také studií selektivního růstu kobaltu na mřížkách vytvořených pomocí fokusovaného iontového svazku a elektronové litografie. Dále je zkoumán růst kovových materiálů (Fe, Co) na povrchovém oxidu vytvořeném na Ni3Al(111). | cs |
| dc.description.abstract | The diploma thesis deals with morphology of cobalt thin film on clean Si(111) and on silicon dioxide thin film on Si(111) studied by AFM and XPS. It is also study of selective growth of cobalt on lattice made by focused ion beam and electron lithography. In the last part, the growth of metals (Fe, Co) on surface oxide on Ni3Al(111) was studied. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | KOŇÁKOVÁ, K. Selektivní růst kovových materiálů na čistých a oxidovaných substrátech. [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2008. | cs |
| dc.identifier.other | 13407 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/15529 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | selektivní růst | cs |
| dc.subject | křemík | cs |
| dc.subject | Si | cs |
| dc.subject | oxid křemičitý | cs |
| dc.subject | SiO2 | cs |
| dc.subject | kobalt | cs |
| dc.subject | Co | cs |
| dc.subject | klastry | cs |
| dc.subject | povrchový oxid na Ni3Al | cs |
| dc.subject | AFM | cs |
| dc.subject | STM | cs |
| dc.subject | XPS | cs |
| dc.subject | selective growth | en |
| dc.subject | silicon | en |
| dc.subject | Si | en |
| dc.subject | silicon dioxide | en |
| dc.subject | SiO2 | en |
| dc.subject | cobalt | en |
| dc.subject | Co | en |
| dc.subject | clusters | en |
| dc.subject | surface oxide on Ni3Al | en |
| dc.subject | AFM | en |
| dc.subject | STM | en |
| dc.subject | XPS | en |
| dc.title | Selektivní růst kovových materiálů na čistých a oxidovaných substrátech. | cs |
| dc.title.alternative | Selective growth of metallic materials on clean and oxidized substrates. | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | masterThesis | en |
| dc.type.evskp | diplomová práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2008-06-10 | cs |
| dcterms.modified | 2008-06-11-14:41:34 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
| sync.item.dbid | 13407 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.26 22:54:23 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.16 00:48:14 | en |
| thesis.discipline | Fyzikální inženýrství | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
| thesis.level | Inženýrský | cs |
| thesis.name | Ing. | cs |