Studium elektronově optických systémů s porušenou rotační symetrií

Abstract

Tato práce se zabývá výpočty magnetické čočky, jejíž pólový nástavec má kvůli nepřesnostem ve výrobě porušenou rotační symetrii. Jsou diskutovány dva možné způsoby výpočtů - užití poruchové teorie a 3D výpočty. Jsou představeny tři metody pro určení osových multipólových funkcí ze 3D polí. Jsou vypočítány stopy svazku v obrazové rovině a aberační koeficienty a výsledky získané použitím poruchové teorie jsou porovnány s výsledky vypočítanými s využitím 3D simulací. Na základě těchto výsledků je diskutována vhodnost použití poruchové teorie.This thesis deals with computing of the magnetic lens with a perturbed pole piece due to manufacturing imperfections. Two possible ways of calculation are discussed - the perturbation theory and 3D computing. Three methods for evaluating axial multipole field functions from 3D fields are introduced. Beam spots in the image plane and aberration coefficients are computed and results obtained by the application of perturbation theory are compared to results evaluated from 3D simulations. Consequently, a suitability of using the perturbation theory is discussed.