Adaptivní skenování na základě obrázků nižších rozlišení

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) prof. Mgr. Dominik Munzar, Dr. (člen) doc. Mgr. Adam Dubroka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Petráček, Dr. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Důvody použití detekce změny frekvence a ne amplitudy. Student na otázky odpovědělcs
but.jazykangličtina (English)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorPavera, Michalen
dc.contributor.authorDymáček, Michalen
dc.contributor.refereeKlapetek, Petren
dc.date.created2024cs
dc.description.abstractTato diplomová práce se zabývá vývojem metody adaptivního skenování založené na obrázcích s nižším rozlišením, která má za cíl zkrátit dobu měření a otevřít tak nové možnosti metod SPM, konkrétně mikroskopie atomárních sil (AFM), pro aplikace např. v biologii a polovodičovém průmyslu. V prvním kroku navrhovaného přístupu je pořízen obrázek s nižším rozlišením, který je uměle zvětšen s využitím interpolace a dále zpracován pro tvorbu rychlostní mapy, která určuje rychlost skenování pro jednotlivé řádky druhého měření. Řádky protínající vyvýšené struktury jsou skenovány pomalu, čímž je zachována nutná přesnost, ale celková doba měření je snížena, jelikož jsou řádky obsahující pouze povrch substrátu skenovány zvýšenou rychlostí. Na základě rešeršní studie a provedených experimentů byl navržen přístup adaptivního skenování využívající skriptovací modul SPM mikroskopu LiteScope založený na programovacím jazyce Python. S využitím tohoto přístupu bylo dosaženo redukce doby měření o 30 % pro kalibrační mřížku TGQ1.en
dc.description.abstractThe presented diploma thesis is devoted to the development of an adaptive scanning approach based on lower resolution images with the aim of overall scan duration reduction to open up new applications of SPM techniques, namely the Atomic force microscopy (AFM), in fields such as life sciences and the semiconductor industry. In the proposed approach, a low resolution image is initially acquired, which is then artificially upscaled by means of interpolation, and processed to create a speed map for a second round of scanning conducted with line-based speed control. This method allows lines containing elevated features to be scanned slowly for necessary precision and lines consisting of the substrate surface to be scanned quickly to reduce the overall scan duration. Based on a theoretical and experimental analysis of individual steps, an adaptive scanning approach is designed utilizing the scripting module of the SPM microscope LiteScope based on Python. With its application, a scan duration reduction of 30 % was achieved for the TGQ1 calibration grid.cs
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationDYMÁČEK, M. Adaptivní skenování na základě obrázků nižších rozlišení [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.cs
dc.identifier.other158405cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/247325
dc.language.isoencs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectSPMen
dc.subjectMikroskopie atomárních silen
dc.subjectAFMen
dc.subjectadaptivní skenováníen
dc.subjectinterpolaceen
dc.subjectPythonen
dc.subjectSPMcs
dc.subjectAtomic force microscopycs
dc.subjectAFMcs
dc.subjectadaptive scanningcs
dc.subjectinterpolationcs
dc.subjectPythoncs
dc.titleAdaptivní skenování na základě obrázků nižších rozlišeníen
dc.title.alternativeAdaptive scanning based on lower resolution imagescs
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2024-06-10cs
dcterms.modified2024-06-11-09:03:51cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid158405en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 10:45:41en
sync.item.modts2025.01.17 09:43:24en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
11.05 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
3.22 KB
Format:
Unknown data format
Description:
file appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_158405.html
Size:
11.64 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_158405.html
Download
Collections
2024