Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop

Simple item page
but.committeeprof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (místopředseda) Ing. Ondřej Hégr, Ph.D. (člen) Ing. Martin Frk, Ph.D. (člen) doc. Ing. Vítězslav Novák, Ph.D. (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením své bakalářské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. Otázky u obhajoby: Jakou jednotku má veličina velikost signálu? Z čeho jste vycházel při návrhu ionizačních detekorů? Proč jsou lepší než již používané?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČudek, Pavelcs
dc.contributor.authorDušek, Petrcs
dc.contributor.refereeZimáková, Janacs
dc.date.created2013cs
dc.description.abstractTato práce se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. V práci je vysvětlen rozdíl mezi rastrovacím elektronovým mikroskopem a environmentálním rastrovacím elektronovým mikroskopem. Dále je popsána emise a detekce vybraných signálů vznikajících při interakci primárních elektronů se vzorkem v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Důraz je kladen na popis, rozdělení a způsob detekce sekundárních elektronů. V práci je popsán princip funkce ionizačních a scintilačních detektorů. V experimentální části práce je uveden návrh konstrukce tří různých elektrodových systémů deskového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop. Na základě měření s navrženými detektory je vybrán detektor s nejvyšší kvalitou detekce signálu.cs
dc.description.abstractThis thesis deals with problematics of a detection of secondary electrons by ionization detector for environmental scanning electron microscope. In this thesis is described the difference between scanning electron microscope and environmental scanning electron microscope. Further there is described emission and detection of the choosen signals that arise while primary electrons are interacting with a specimen in scanning electron microscope. A special emphasis is placed on a description, sorting and on the form of detection of secondary electrons. In thesis there is described principle of a function of ionization a scintilation detectors. Experimental part of thesis describes design of 3 different elctrode systems of a tabular ionization detector, which will be intended to be placed in environmental scanning electron microscope. Based on measuring with the detectors, with experimental design, there is chosen one with the highest quality of signal detection.en
dc.description.markBcs
dc.identifier.citationDUŠEK, P. Ionizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2013.cs
dc.identifier.other66943cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/27405
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectIonizační detektorcs
dc.subjectionizace plynůcs
dc.subjectsekundární elektronycs
dc.subjectzpětně odražené elektronycs
dc.subjectprimární elektronycs
dc.subjectrastrovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectenvironmentální rastrovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectIonization detectoren
dc.subjectgas ionizationen
dc.subjectsecondary electronsen
dc.subjectback scattered electronsen
dc.subjectprimary electronsen
dc.subjectscanning electron microscopeen
dc.subjectenvironmental scanning electron microscopeen
dc.titleIonizační detektor sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskopcs
dc.title.alternativeIonization detector of secondary electrons for environmental scanning electron microscopeen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2013-06-17cs
dcterms.modified2013-06-20-06:27:46cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid66943en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.16 13:26:56en
sync.item.modts2025.01.15 21:48:30en
thesis.disciplineMikroelektronika a technologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
1.86 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
5.46 MB
Format:
zip
Description:
appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_66943.html
Size:
4.84 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_66943.html
Download
Collections
2013