Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC

Simple item page
but.committeeprof. Ing. Jiří Kazelle, CSc. (předseda) doc. Ing. Marie Sedlaříková, CSc. (místopředseda) Ing. Ladislav Chladil, Ph.D. (člen) Ing. Petr Dvořák, Ph.D. (člen) Ing. Miroslav Zatloukal (člen)cs
but.defenceStudent seznámil státní zkušební komisi s cíli a řešením závěrečné vysokoškolské práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta. 1) Jaká byla přibližně tloušťka SiO2? 2) Z jakého důvodu vadila zmíněná infračervená kamera? 3) Co znamená zkratka EBIC? 4) Jaké je využití pro praxi?cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programElektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technikacs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorČudek, Pavelcs
dc.contributor.authorDavidová, Lenkacs
dc.contributor.refereeMáca, Josefcs
dc.date.created2017cs
dc.description.abstractDiplomová práce je zaměřena na diagnostiku polovodičových materiálů metodou EBIC (měření proudů indukovaných svazkem), stanovování doby života minoritních nosičů, resp. jejich difuzní délky. V teoretické části práce je uveden princip rastrovacího elektronového mikroskopu, jeho charakteristické vlastnosti mikroskopu a signály vznikající při interakci svazku primárních elektronů se vzorkem. Dále je v práci popsána struktura polovodivého křemíku, jeho pásové modely, typy poruch krystalové mříže a vytvoření nevlastních polovodičových struktur. Následně je popsána teorie výpočtu doby života minoritních nosičů náboje a výpočty difuzní délky minoritních nosičů náboje v polovodičích typu N a P. Cílem experimentální části práce je měření vlastností polovodičových struktur metodou EBIC a stanovení difuzní délky a doby života minoritních nosičů náboje na základě změřených dat.cs
dc.description.abstractMaster´s thesis is focused on diagnostics of semiconductor materials by EBIC method (measuring of currents induced beam), determination of the lifetime of minority carriers, or their diffusion length. The theoretical part is aimed at the principle of scanning electron microscopy, the characteristic properties of the microscope and the signals generated by the interaction of the primary electron beam with the sample. The thesis describes a structure of semiconducting silicon, band models, types of lattice defects and doped of semiconductor structures. After that it is described the theory of calculation of the diffusion length of minority carriers in semiconductors of type N and P. The aim of the experiment part of the thesis is to measure the properties of the semiconductor structure by EBIC and determination of diffusion length and lifetime of minority charge carriers based on the measured data The aim of the experiment part of the thesis is to measure the properties of the semiconductor structure by EBIC and determination of diffusion length and lifetime of minority charge carriers on the basis of the measured data.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationDAVIDOVÁ, L. Diagnostika polovodičových materiálů metodou EBIC [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2017.cs
dc.identifier.other103376cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/67147
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectRastrovací elektronový mikroskopcs
dc.subjectEBICcs
dc.subjectvlastní polovodičcs
dc.subjectnevlastní polovodičcs
dc.subjectPN přechodcs
dc.subjectdifuzní délka nosičůcs
dc.subjectdoba života nosičůcs
dc.subjecturychlovací napětí.cs
dc.subjectScanning electron microscopeen
dc.subjectEBICen
dc.subjectintrinsic semiconductoren
dc.subjectextrinsic semiconductoren
dc.subjectPN junctionen
dc.subjectdiffusion lengthen
dc.subjectcarrier lifetimesen
dc.subjectacceleration voltage.en
dc.titleDiagnostika polovodičových materiálů metodou EBICcs
dc.title.alternativeDiagnostic of semiconductor materials by EBIC methoden
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2017-06-07cs
dcterms.modified2017-06-08-15:30:14cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta elektrotechniky a komunikačních technologiícs
sync.item.dbid103376en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 13:30:12en
sync.item.modts2025.01.15 18:37:08en
thesis.disciplineElektrotechnická výroba a materiálové inženýrstvícs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav elektrotechnologiecs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
3.97 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.pdf
Size:
60.1 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
appendix-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_103376.html
Size:
3.94 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_103376.html
Download
Collections
2017