Vývoj a aplikace UHV zařízení pro depozice tenkých vrstev (Atomární a iontové svazkové systémy)

Simple item page
but.committeeprof. Ing. Jiří Švejcar, CSc. (předseda) prof. RNDr. Vladimír Čech, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (člen) Ing. Jaroslav Sobota, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen)cs
but.defenceDisertační práce zpracovává aktuální téma v oblasti materiálového výzkumu s vysokou možností aplikace výsledků v polovodičovém průmyslu. Ing. Mach zvládl náročné experimenty a dosáhl původních výsledků, které byly publikovány. Prokázal jimi schopnost samostatné vědecké práce a také schopnost týmové spolupráce, která vedla k výsledkům, na jejichž základě byla podána přihláška patentu týkající se iontově-atomárního zdroje.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programFyzikální a materiálové inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorŠikola, Tomášcs
dc.contributor.authorMach, Jindřichcs
dc.contributor.refereeČech, Vladimírcs
dc.contributor.refereeLencová, Bohumilacs
dc.date.accessioned2019-11-27T20:28:46Z
dc.date.available2019-11-27T20:28:46Z
dc.date.created2010cs
dc.description.abstractV disertační práci je popsán vývoj dvou zařízení pro přípravu ultratenkých vrstev v UHV (ultravysoké vakuum) podmínkách. Je zde stručně popsána teorie atomárních svazků a dále pak podrobněji konstrukce uvedených zdrojů. V první části je popsána konstrukce termálního atomárního zdroje navrženého pro formování svazků atomů kyslíku nebo vodí-ku. Dále je uveden návrh a konstrukce iontově-atomárního zdroje pro depozici s asistencí iontových svazků. Zařízení kombinuje principy efuzní cely s elektronově srážkovým ionto-vým zdrojem generující ionty o energii iontů (30-100 eV). Zdroj byl uspěšně užit pro de-pozici GaN vrstev na Si(111) 7x7 za pokojové teploty.cs
dc.description.abstractIn the thesis the development of two equipment for preparation of ultrathin films under ultrahign vacuum conditions (UHV) is discussed. Here, additionally to a brief description of theoretical principles, more details on the design of these units are given. In the first part the design of a thermal source of oxygen or hydrogen atomic beams is discussed. Further, a design and construction of an ion–atomic beam source for ion-beam assisted deposition of thin films is detailed. The source combines the principles of an efusion cell and electron-impact ion beam source generating ions of (30 – 100) eV energy. The source has been successfully applied for the growth of GaN on the Si(111) 7x7 substrate under room temperature.en
dc.description.markPcs
dc.identifier.citationMACH, J. Vývoj a aplikace UHV zařízení pro depozice tenkých vrstev (Atomární a iontové svazkové systémy) [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2010.cs
dc.identifier.other30192cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/1636
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectATOMÁRNÍ ZDROJcs
dc.subjectIONTOVÝ ZDROJcs
dc.subjectIONTOVĚ-ATOMÁRNÍ ZDROJcs
dc.subjectTERMÁL-NÍ SVAZKY ATOMŮ KYSLIKUcs
dc.subjectTERMÁLNÍ SVAZKY ATOMŮ VODÍKUcs
dc.subjectATO-MÁRNÍ VODÍKcs
dc.subjectATOMÁRNÍ KYSLÍKcs
dc.subjectGANcs
dc.subjectIBADcs
dc.subjectIBAADcs
dc.subjectMBEcs
dc.subjectRŮST ULTRA TENKÝCH.cs
dc.subjectATOMIC SOURCEen
dc.subjectION SOURCEen
dc.subjectION-ATOMIC SOURCEen
dc.subjectTHERMAL OXYGEN ATOM BEAMen
dc.subjectHYDROGEN THERMAL ATOM BEAMen
dc.subjectGANen
dc.subjectIBADen
dc.subjectIBAADen
dc.subjectMBEen
dc.subjectGROWTH OF ULTRATHIN LAYER.en
dc.titleVývoj a aplikace UHV zařízení pro depozice tenkých vrstev (Atomární a iontové svazkové systémy)cs
dc.title.alternativeDevelopment and Application of an UHV Equipment for Deposition of Thin Films (Atomic and Ion Systems)en
dc.typeTextcs
dc.type.driverdoctoralThesisen
dc.type.evskpdizertační prácecs
dcterms.dateAccepted2010-02-01cs
dcterms.modified2010-02-01-15:58:44cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid30192en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2020.05.22 13:15:08en
sync.item.modts2020.05.22 12:51:17en
thesis.disciplineFyzikální a materiálové inženýrstvícs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelDoktorskýcs
thesis.namePh.D.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
7.08 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
thesis-1.pdf
Size:
1.73 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
thesis-1.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_30192.html
Size:
1.73 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
review_30192.html
Download
Collections
2010