Aplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeních

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Jiří Komrska, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) prof. Ing. Ivan Křupka, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programAplikované vědy v inženýrstvícs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorBartošík, Miroslavcs
dc.contributor.authorKormoš, Lukášcs
dc.contributor.refereeDrbohlavová, Janacs
dc.date.created2015cs
dc.description.abstractTáto diplomová práca je zameraná na aplikácie a výrobu grafénovej membrány z grafénu vyrobeného pomocov chemickej depozície z plynnej fáze. Teoretická časť sa zaoberá transportnými vlastnosťami grafénu a viacerými rozptylovými procesmi, ktoré obmedzujú pohyblivosť nosičov náboja v tomto materiáli. Súčasťou teoretickej časti je krátka recenzia aplikácií grafénových membrán. Experimentálna časť prezentuje výrobný proces pre dosiahnutie zaveseného grafenového zariadenia s využitím elektrónové litografie, fokusovaného zväzku iónov, chemického leptania a tvarovanie grafenovej vrstvy. Grafénová membrána je charakterizovaná meraním transportných vlastností a tieto sú následne porovnané s grafénom položeným na substráte.cs
dc.description.abstractThis diploma thesis is focused on the applications and fabrication of graphene membrane from graphene prepared by the chemical vapor deposition. Theoretical part deals with transport properties of the graphene and multiple scattering processes limiting the charge carrier mobility in this material. Included is short review of graphene membrane applications. Experimental part provides fabrication process for achieving suspended graphene device by utilizing electron beam lithography, focused ion beam, chemical etching and patterning of graphene. Graphene membrane is characterized by transport properties measurement and compared to non-suspended graphene.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationKORMOŠ, L. Aplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeních [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2015.cs
dc.identifier.other83924cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/41571
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectgraféncs
dc.subjectgrafénová membránacs
dc.subjectchemická depozícia z plynnej fázecs
dc.subjectCVDcs
dc.subjectelektronová litografiacs
dc.subjectEBLcs
dc.subjecttransportné vlastnostics
dc.subjectgrapheneen
dc.subjectgraphene membraneen
dc.subjectchemical vapor depositionen
dc.subjectCVDen
dc.subjectelectron beam lithographyen
dc.subjectEBLen
dc.subjecttransport propertiesen
dc.titleAplikace grafénové membrány v nanoelektronických zařízeníchcs
dc.title.alternativeApplication of Graphene Membrane in Nanoelectronic Devicesen
dc.typeTextcs
dc.type.drivermasterThesisen
dc.type.evskpdiplomová prácecs
dcterms.dateAccepted2015-06-23cs
dcterms.modified2015-06-24-13:49:23cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid83924en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.27 07:58:19en
sync.item.modts2025.01.17 14:11:25en
thesis.disciplineFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelInženýrskýcs
thesis.nameIng.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
8.06 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
review_83924.html
Size:
8.21 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_83924.html
Download
Collections
2015