Výroba a charakterizace plazmonických nanostruktur
but.committee | prof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Miroslav Liška, DrSc. (místopředseda) prof. RNDr. Bohumila Lencová, CSc. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Pavel Zemánek, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) | cs |
but.defence | Byly zodpovězeny otázky oponenta. | cs |
but.jazyk | čeština (Czech) | |
but.program | Aplikované vědy v inženýrství | cs |
but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
dc.contributor.advisor | Viewegh, Petr | cs |
dc.contributor.author | Bačo, Ondřej | cs |
dc.contributor.referee | Kvapil, Michal | cs |
dc.date.created | 2018 | cs |
dc.description.abstract | Předkládaná bakalářská práce se zabývá přípravou a charakterizací plazmonických nanostruktur. Pro přípravu těchto struktur byl použit grafen na dopovaném křemíkovém substrátu s 285nm vrstvou oxidu křemičitého. Grafenové pruhy o šířce řádově stovek nanometrů byly vyrobeny za použití metod elektronové litografie (EBL) a reaktivního iontového leptání (RIE). Jednotlivé fáze přípravy byly monitorovány pomocí optické mikroskopie a mikroskopie atomárních sil (AFM). Vlastnosti výsledných grafenových nanostruktur byly charakterizovány rastrovacím elektronovým mikroskopem (SEM) a infračerveným spektrometrem s Fourierovou transformací (FTIR). | cs |
dc.description.abstract | This bachelor thesis deals with fabrication and characterization of plasmonic nanostructures. Graphene on a doped silicon substrate with a 285 nm thick layer of silicon dioxide was used for fabrication of these structures. Graphene ribbons with width in the order of hundreds of nanometers were prepared using electron beam lithography (EBL) and reactive ion etching (RIE). Steps in fabrication process were monitored utilizing optical and atomic force microscopy (AFM). Prepared graphene nanostructures were characterized with scanning electron microscope (SEM) and Fourier transform infrared spectrometer (FTIR). | en |
dc.description.mark | A | cs |
dc.identifier.citation | BAČO, O. Výroba a charakterizace plazmonických nanostruktur [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2018. | cs |
dc.identifier.other | 109750 | cs |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/83744 | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství | cs |
dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
dc.subject | plazmonika | cs |
dc.subject | grafen | cs |
dc.subject | EBL | cs |
dc.subject | RIE | cs |
dc.subject | AFM | cs |
dc.subject | SEM | cs |
dc.subject | FTIR | cs |
dc.subject | plasmonics | en |
dc.subject | graphene | en |
dc.subject | EBL | en |
dc.subject | RIE | en |
dc.subject | AFM | en |
dc.subject | SEM | en |
dc.subject | FTIR | en |
dc.title | Výroba a charakterizace plazmonických nanostruktur | cs |
dc.title.alternative | Fabrication and characterization of plasmonic nanostructures | en |
dc.type | Text | cs |
dc.type.driver | bachelorThesis | en |
dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
dcterms.dateAccepted | 2018-06-21 | cs |
dcterms.modified | 2018-06-25-06:47:54 | cs |
eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta strojního inženýrství | cs |
sync.item.dbid | 109750 | en |
sync.item.dbtype | ZP | en |
sync.item.insts | 2025.03.26 07:53:42 | en |
sync.item.modts | 2025.01.15 19:34:24 | en |
thesis.discipline | Fyzikální inženýrství a nanotechnologie | cs |
thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrství | cs |
thesis.level | Bakalářský | cs |
thesis.name | Bc. | cs |