Vývoj a výroba mikroelektromechanických systémů MEMS

Simple item page
but.committeeprof. RNDr. Tomáš Šikola, CSc. (předseda) prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D. (místopředseda) prof. RNDr. Radim Chmelík, Ph.D. (člen) prof. RNDr. Petr Dub, CSc. (člen) prof. Ing. Jan Čechal, Ph.D. (člen) prof. Ing. Miroslav Kolíbal, Ph.D. (člen) doc. Mgr. Vlastimil Křápek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Stanislav Průša, Ph.D. (člen) doc. Ing. Radek Kalousek, Ph.D. (člen) doc. Ing. Miroslav Bartošík, Ph.D. (člen) RNDr. Antonín Fejfar, CSc. (člen)cs
but.defencePo otázkách oponenta bylo dále diskutováno: Druh použité optické litografie. Student na otázky odpověděl.cs
but.jazykčeština (Czech)
but.programFyzikální inženýrství a nanotechnologiecs
but.resultpráce byla úspěšně obhájenacs
dc.contributor.advisorNováček, Zdeněkcs
dc.contributor.authorKoňařík, Lukášcs
dc.contributor.refereeDostál, Zbyněkcs
dc.date.created2024cs
dc.description.abstractTato bakalářská práce se zabývá mikroeletromechanickými systémy MEMS. V první části práce jsou obecně popsány aplikační oblasti těchto systémů společně s konkrétními případy. Dále jsou zde detailně vysvětleny simulace v programu COMSOL Multiphysics, stejně jako výčet fyzikálních principů technologií MEMS systémů. V praktické části jsou uvedeny modely elektrostatického aktuátoru a termomechanického aktuátoru. Práce zachycuje jednotlivé kroky výroby od prvotního substrátu až po finální strukturu. Součástí tohotu procesu je řezání vzorků pomocí laserové řezačky, spin coating, optická litografie, nanášení vodivé kovové vrstvy na evaporátoru, lift-off, leptání struktury technikou hloubkového reaktivního iontového leptání, leptání kyselinou fluorovodíkovou a bondování do elektrického obvodu. Všechny kroky jsou zdokumentovány a provedeny ve sdílených laboratořích Středoevropského Technologického Institutu CEITEC Nano. V závěru jsou shrnuty a diskutovány výsledky celého výrobního procesu.cs
dc.description.abstractThis bachelor thesis deals with MEMS microelectromechanical systems. In the first part of the thesis the application areas of these systems are described in general together with specific cases. In addition, COMSOL Multiphysics simulations are explained in detail, as well as an enumeration of the physical principles of MEMS system technologies. In the practical part, models of an electrostatic actuator and a thermomechanical actuator are presented. The work depicts the different steps of fabrication from the initial substrate to the final structure. This process includes cutting the samples using a laser dicer, spin coating, optical lithography, depositing a conductive metal layer on an evaporator, lift-off, etching the structure using a deep reactive ion etching technique, hydrofluoric acid etching, and bonding to an electrical circuit. All steps are documented and performed in the shared laboratories of the Central European Institute of Technology CEITEC Nano. Finally, the results of the whole fabrication process are summarized and discussed.en
dc.description.markAcs
dc.identifier.citationKOŇAŘÍK, L. Vývoj a výroba mikroelektromechanických systémů MEMS [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. 2024.cs
dc.identifier.other158127cs
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11012/247691
dc.language.isocscs
dc.publisherVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrstvícs
dc.rightsStandardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezenícs
dc.subjectMikroelektromechanické systémycs
dc.subjectMEMScs
dc.subjecttermomechanický aktuátorcs
dc.subjectelektromechanický aktuátor.cs
dc.subjectMicroelectromechanical systemsen
dc.subjectMEMSen
dc.subjectthermomechanical actuatoren
dc.subjectelectromechanical actuator.en
dc.titleVývoj a výroba mikroelektromechanických systémů MEMScs
dc.title.alternativeDevelopment and fabrication of microelectromechanical systems MEMSen
dc.typeTextcs
dc.type.driverbachelorThesisen
dc.type.evskpbakalářská prácecs
dcterms.dateAccepted2024-06-12cs
dcterms.modified2024-06-18-08:45:11cs
eprints.affiliatedInstitution.facultyFakulta strojního inženýrstvícs
sync.item.dbid158127en
sync.item.dbtypeZPen
sync.item.insts2025.03.26 08:20:27en
sync.item.modts2025.01.17 11:25:35en
thesis.disciplinebez specializacecs
thesis.grantorVysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav fyzikálního inženýrstvícs
thesis.levelBakalářskýcs
thesis.nameBc.cs
Files
Original bundle
Now showing 1 - 3 of 3
Thumbnail Image
Name:
final-thesis.pdf
Size:
2.51 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
file final-thesis.pdf
Download
Thumbnail Image
Name:
appendix-1.zip
Size:
14.67 MB
Format:
Unknown data format
Description:
file appendix-1.zip
Download
Thumbnail Image
Name:
review_158127.html
Size:
9.82 KB
Format:
Hypertext Markup Language
Description:
file review_158127.html
Download
Collections
2024