Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
| but.committee | prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda) prof. Ing. Miroslav Husák, CSc. (místopředseda) Ing. Břetislav Mikel, Ph.D. (člen) doc. Ing. Arnošt Bajer, CSc. (člen) Ing. Michal Pavlík, Ph.D. (člen) | cs |
| but.defence | Student v prezentaci seznámil státní zkušební komisi s cíly a řešením své bakalářské práce práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a členů komise u obhajoby. Oponentem položené otázky: Pro jakou konkrétní aplikaci bude Vaše řešení teopné membrány použito? Jaká je reprodukovatelnost Vaší přípravy topné membrány a jaké technologické postupy byste použil v případě výroby topné membrány ve tvaru volant? Jaké výsledné parametry co se týče dosažené teploty a příkonu očekáváte u Vámi vyrobené topné membrány? Otázky doplněné komisí: Mikroobrábění, označení MEMS, důvody zavěšení struktury, způsob připojení, srovnání s platinovou technologií, realizační možnosti UPT atd. | cs |
| but.jazyk | čeština (Czech) | |
| but.program | Elektrotechnika, elektronika, komunikační a řídicí technika | cs |
| but.result | práce byla úspěšně obhájena | cs |
| dc.contributor.advisor | Hubálek, Jaromír | cs |
| dc.contributor.author | Svatoš, Vojtěch | cs |
| dc.contributor.referee | Pekárek, Jan | cs |
| dc.date.created | 2012 | cs |
| dc.description.abstract | Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání. | cs |
| dc.description.abstract | The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress. | en |
| dc.description.mark | A | cs |
| dc.identifier.citation | SVATOŠ, V. Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2012. | cs |
| dc.identifier.other | 54746 | cs |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11012/12298 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| dc.rights | Standardní licenční smlouva - přístup k plnému textu bez omezení | cs |
| dc.subject | Mikro-elektro-mechanické systémy | cs |
| dc.subject | topné membrány s nízkým příkonem | cs |
| dc.subject | senzor | cs |
| dc.subject | litografie | cs |
| dc.subject | leptání | cs |
| dc.subject | depozice tenkých vrstev | cs |
| dc.subject | křemík | cs |
| dc.subject | uzavřená membrána | cs |
| dc.subject | závěsná membrána | cs |
| dc.subject | vyhřívání. | cs |
| dc.subject | Micro-electro-mechanical systems | en |
| dc.subject | low power heating membranes | en |
| dc.subject | sensor | en |
| dc.subject | lithography | en |
| dc.subject | etching | en |
| dc.subject | thin layers deposition | en |
| dc.subject | silicon | en |
| dc.subject | closed-type of membrane | en |
| dc.subject | suspended type of membrane | en |
| dc.subject | heater. | en |
| dc.title | Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem | cs |
| dc.title.alternative | Low power MEMS heating membrane | en |
| dc.type | Text | cs |
| dc.type.driver | bachelorThesis | en |
| dc.type.evskp | bakalářská práce | cs |
| dcterms.dateAccepted | 2012-06-11 | cs |
| dcterms.modified | 2012-06-13-08:05:42 | cs |
| eprints.affiliatedInstitution.faculty | Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií | cs |
| sync.item.dbid | 54746 | en |
| sync.item.dbtype | ZP | en |
| sync.item.insts | 2025.03.16 13:21:42 | en |
| sync.item.modts | 2025.01.15 14:58:27 | en |
| thesis.discipline | Mikroelektronika a technologie | cs |
| thesis.grantor | Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. Ústav mikroelektroniky | cs |
| thesis.level | Bakalářský | cs |
| thesis.name | Bc. | cs |