Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem
Loading...
Date
Authors
Svatoš, Vojtěch
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Cílem této práce je realizovat MEMS topnou membránu s nízkým příkonem. Práce obsahuje základní body návrhu a přehled technologií, které jsou určeny pro výrobu těchto topných elementů. Jako výchozí struktura pro realizaci topné membrány byl vybrán typ závěsné membrány. Na závěr této práce je uveden detailní technologický postup, který byl použit při výrobě finálních struktur a experimentální ověření odolnosti proti teplotnímu namáhání.
The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress.
The aim of this thesis is to create the MEMS heating membrane with low power consumption. This work includes the main of design and fabrication processes of these heating elements. It was decided that the final sample will be created as suspended membrane type of the structure. It the end of the thesis there is detailed overview of the whole fabrication processes used for fabrication of final samples and the experiment to prove the resistance due to thermal stress.
Description
Keywords
Mikro-elektro-mechanické systémy , topné membrány s nízkým příkonem , senzor , litografie , leptání , depozice tenkých vrstev , křemík , uzavřená membrána , závěsná membrána , vyhřívání. , Micro-electro-mechanical systems , low power heating membranes , sensor , lithography , etching , thin layers deposition , silicon , closed-type of membrane , suspended type of membrane , heater.
Citation
SVATOŠ, V. Topná membrána typu MEMS s nízkým příkonem [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2012.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Vladislav Musil, CSc. (předseda)
prof. Ing. Miroslav Husák, CSc. (místopředseda)
Ing. Břetislav Mikel, Ph.D. (člen)
doc. Ing. Arnošt Bajer, CSc. (člen)
Ing. Michal Pavlík, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2012-06-11
Defence
Student v prezentaci seznámil státní zkušební komisi s cíly a řešením své bakalářské práce práce a zodpověděl otázky a připomínky oponenta a členů komise u obhajoby.
Oponentem položené otázky:
Pro jakou konkrétní aplikaci bude Vaše řešení teopné membrány použito? Jaká je reprodukovatelnost Vaší přípravy topné membrány a jaké technologické postupy byste použil v případě výroby topné membrány ve tvaru volant? Jaké výsledné parametry co se týče dosažené teploty a příkonu očekáváte u Vámi vyrobené topné membrány?
Otázky doplněné komisí: Mikroobrábění, označení MEMS, důvody zavěšení struktury, způsob připojení, srovnání s platinovou technologií, realizační možnosti UPT atd.
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena