Scintilační a ionizační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Loading...
Date
Authors
Novák, Pavel
Advisor
Referee
Mark
A
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
ORCID
Abstract
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a používanými detektory sekundárních elektronů. Základním zaměřením práce je objasnění funkce používaných detektorů sekundárních elektronů a srovnání těchto detektorů. Jmenovitě se jedná o scintilační detektor a ionizační detektor.
Submitted work deals with problems of environmental scanning electron microscopy (EREM) and used detectors of secondary electrons.
Submitted work deals with problems of environmental scanning electron microscopy (EREM) and used detectors of secondary electrons.
Description
Citation
NOVÁK, P. Scintilační a ionizační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku [online]. Brno: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií. 2009.
Document type
Document version
Date of access to the full text
Language of document
cs
Study field
Mikroelektronika a technologie
Comittee
prof. Ing. Jaromír Kadlec, CSc. (předseda)
Ing. Zdenka Rozsívalová (místopředseda)
doc. Ing. Josef Šandera, Ph.D. (člen)
Ing. Jiří Kubelka (člen)
doc. Ing. Petr Bača, Ph.D. (člen)
Date of acceptance
2009-06-12
Defence
Student seznámil státní zkušební komisi se zadáním, zpracováním a výsledky své bakalářské práce
a zodpověděl otázky a připomínky oponenta.
Otázky u obhajoby:
Z čeho je vyroben detektor?
Jak jste vyhodnocoval stupně šedi?
Result of defence
práce byla úspěšně obhájena